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TaC coated graphite rhaub
Txais tos rau Semixlab's TaC-coated graphite heaters tsim thiab tsim tshwj xeeb los ua kom tau raws li qhov xav tau ntawm kev tsim khoom semiconductor niaj hnub no, tshwj xeeb tshaj yog silicon carbide (SiC) epitaxial kev loj hlob. Tsav los ntawm kev nrhiav kev siv hluav taws xob zoo dua, qhov kub ua haujlwm siab dua thiab qhov loj me ntawm cov khoom siv, SiC semiconductors tau dhau los ua qhov tseem ceeb. Kev loj hlob ntawm SiC epitaxial txheej zoo xav tau qhov chaw ruaj khov, txhim khu kev qha, thiab huv si kub, thiab Semixlab's TaC-coated graphite heaters yog qhov tseem ceeb ntawm cov txheej txheem tseem ceeb no, xa cov kev ua tau zoo dua thiab kev ntseeg siab mus sij hawm ntev rau koj cov khoom tsim tawm.
Hauj lwm
Vim li cas ho xaiv Semixlab?
Semixlab tuaj yeem muab cov cua sov graphite coated TaC hauv cov qhov ntau thiab tsawg thiab cov lus qhia raws li cov qauv khoom siv tshwj xeeb ntawm cov neeg siv khoom thiab cov txheej txheem xav tau. Thov hu rau peb kom paub meej txog cov txheej txheem kev teeb tsa, suav nrog tab sis tsis txwv rau:
- Kev kam rau siab ntawm qhov ntev
- Ua haujlwm kub siab tshaj plaws
- Cov ntaub ntawv txog lub cev xws li kev ua tau zoo ntawm cov cua sov
- Cov qib graphite thiab purity
- TaC txheej thickness ntau yam thiab cov qauv sib xws
Qhov tseem ceeb tshaj, Semixlab cov khoom cua sov yog ua los ntawm cov khoom siv graphite siab-purity coated nrog lub siab-density TaC (Tantalum Carbide) txheej, uas muab kev sib xyaw ua ke ntawm kev ua kom sov zoo heev thiab Qhov no ua ke cov thermal conductivity zoo heev nrog kev ruaj khov kub siab. Peb siv cov ntaub ntawv graphite los ntawm peb lub tuam txhab muag khoom zoo tshaj plaws hauv ntiaj teb, thiab peb cov neeg koom tes ntev ntev suav nrog SGL (Lub Tebchaws Yelemees), Toyo Tanso (Nyiv), thiab Mersen (Fabkis teb), kom ntseeg tau tias peb cov khoom muaj kev lees paub zoo los ntawm qhov chaw. Tib lub sijhawm, Semixlab's TaC txheej txheem yog nyob rau theem ua thawj coj hauv kev lag luam, nrog nws qhov ntom ntom, kev nplaum thiab kev tiv thaiv corrosion tau raug txheeb xyuas los ntawm ntau qhov kev lees paub ntawm cov txheej txheem, thiab tau siv dav hauv cov khoom siv SiC epitaxial siab, uas cov neeg siv khoom ntseeg siab heev.
Specifications
| Lub cev muaj zog ntawm TaC txheej | |
| ceev | 14.3 (g / cm³) |
| Tshwj xeeb emissivity | 0.3 |
| Thermal expansion coefficient | 6.3 10-6/K |
| Hardness (HK) | 2000 HK ib |
| Kuj | 1 × 10-5 Aw* cm |
| Thermal ruaj khov | <2500 ℃ |
| Graphite loj hloov | -10 ~ 20 hli |
| Txheej thickness | ≥20um tus nqi raug (35um ± 10um) |
| Thermal conductivity | 9-22 (W/m·K) |
| Lub cev muaj zog ntawm isostatic graphite | ||
| Khoom | Tsev | Tus Nqi Qub |
| Kev ceev ntau | g / cm³ | 1.83 |
| Hardness | H.S.D. | 58 |
| Hluav taws xob Resistivity | μΩ m | 10 |
| Kev Ua Tau Zoo | MPa | 47 |
| Hloov zog | MPa | 103 |
| Tensile Zog | MPa | 31 |
| Young's Modulus | GPa | 11.8 |
| Thermal Expansion (CTE) | 10-6K-1 | 4.6 |
| Thermal Kev Coj Ua | W·m-1·K-1 | 130 |
| Nruab Nrab Loj Loj | μm | 8-10 |
| Porosity | % | 10 |
| Tshauv Ntsiab Lus | ppm | ≤5 (tom qab ua kom huv) |
daim ntawv sau npe
Daim Ntawv Thov Tseem Ceeb: Lub Hauv Paus Kub Tseem Ceeb hauv SiC Epitaxie Khoom Siv
Semixlab's TaC-coated graphite heaters ua lub luag haujlwm tseem ceeb hauv SiC epitaxy khoom siv. Nws lub luag haujlwm tseem ceeb yog ua lub hauv paus rau lub tshuab cua sov, nqa thiab ua kom sov lub Wafer Susceptor tso rau saum nws.
Cov Qib Qauv: Hauv ib lub chamber SiC epitaxial, cov qauv feem ntau yog raws li nram no:
1. Lub tshuab cua sov graphite uas muaj TaC txheej (Cov Khoom Semixlab): Nyob rau hauv qab, nws yog qhov chaw tseem ceeb ntawm cua sov.
2. Wafer Susceptor: Muab tso rau saum lub cua sov, lub wafer susceptor feem ntau kuj yog ua los ntawm cov graphite purity siab lossis lwm yam khoom siv tiv taus kub siab thiab tej zaum yuav raug coated. Nws cov grooves tsim precision yog siv los tuav SiC wafers.
3. SiC Wafers (Wafer): Muab tso rau ntawm lub disk nqa khoom, lawv yog cov substrate rau kev loj hlob zaum kawg ntawm txheej epitaxial.
Cov Txheej Txheem Ua Kub thiab Cov Teeb Meem:
1. Cov Kev Xav Tau Kub Siab: Kev loj hlob ntawm SiC epitaxial feem ntau xav tau qhov kub siab heev (feem ntau tshaj 1500∘C lossis siab dua) kom ntseeg tau tias cov roj ua ntej ua haujlwm tau zoo thiab tsim cov txheej txheem SiC zoo, ib leeg-crystalline ntawm qhov chaw ntawm cov wafers. Semixlab cov cua sov yog ua raws li cov khoom siv graphite uas muaj kev ntshiab siab, muaj cua sov zoo kom ntseeg tau tias qhov kub siab xav tau raug ncav cuag thiab ua kom ruaj khov sai thiab sib xws. Semixlab lub cua sov siv cov graphite uas muaj kev ntshiab siab nrog kev ua kom sov siab ua cov khoom siv los xyuas kom meej tias qhov kub siab xav tau raug ncav cuag thiab tswj tau sai thiab sib xws.
2. Kev sib npaug yog qhov tseem ceeb: Qhov kub sib xws ntawm qhov chaw ua kom sov ncaj qha cuam tshuam rau qhov kub faib ntawm lub disk nqa khoom, uas ua rau txiav txim siab qhov sib xws ntawm qhov kev loj hlob, epitaxial txheej tuab, thiab doping concentration ntawm txhua qhov chaw ntawm lub wafer. Txhua qhov kub gradient tuaj yeem ua rau muaj qhov tsis zoo ntxiv hauv epitaxial txheej thiab qhov sib txawv ntau dua hauv kev ua haujlwm ntawm lub cuab yeej, thiab Semixlab ua kom zoo dua qhov kev faib tawm thermal ntawm lub tshuab cua sov kom txo qhov sib txawv ntawm qhov kub los ntawm kev tsim qauv thiab cov txheej txheem tsim khoom zoo.
3. Kev Nyuaj Siab Txog Kev Ruaj Ntseg ntawm Tshuaj: Cov pa roj uas muaj zog heev (piv txwv li, silane, propane, hydrogen, thiab dopant gases) raug dhau los ntawm cov txheej txheem epitaxial. Thaum kub siab, cov pa roj no ua rau cov graphite feem ntau puas tsuaj sai sai rau cov khoom graphite thiab tso cov pa roj carbon uas ua rau lub chamber tshuaj tiv thaiv thiab wafers paug, cuam tshuam loj heev rau qhov zoo ntawm cov txheej epitaxial thiab cov khoom siv.
Kev Tshaj Loj (Competitive Advantage)
Semixlab TaC Txheej Tshuaj thiab Cov Txiaj Ntsig:
Nws yog los teb rau cov teeb meem no uas Semixlab siv cov txheej txheem txheej txheem Tantalum Carbide (TaC) siab heev. TaC Coating muab cov cua sov graphite ua tau zoo dua:
1. Txo Kev Tsim Khoom Me Me thiab Txhim Kho Cov Qoob Loo: Los ntawm kev tiv thaiv kom zoo rau kev yaig thiab kev pleev xim rau ntawm cov graphite substrate, TaC Coating txo qhov chaw ntawm cov khoom me me los ntawm chav ua haujlwm ntawm qhov chaw. Los ntawm kev tiv thaiv kom zoo rau kev yaig thiab kev sib tsoo ntawm cov graphite substrate, TaC txheej txo qhov chaw ntawm cov khoom me me hauv chav ua haujlwm los ntawm qhov chaw, uas yog qhov tseem ceeb rau kev tsim cov SiC epitaxial wafers zoo nrog qhov tsis zoo tsawg, thiab ncaj qha pab txhawb rau qhov txiaj ntsig ntawm lub cuab yeej kawg.
2. Kev tsis muaj tshuaj lom neeg zoo thiab kev tiv thaiv corrosion: Lub txheej TaC muaj kev ruaj khov tshuaj lom neeg siab heev thiab lub zog vapor qis tiv thaiv cov graphite substrate los ntawm kev cuam tshuam nrog cov pa roj ntawm qhov kub siab thiab hauv cov huab cua corrosive. Qhov no txo cov khoom me me vim yog kev puas tsuaj ntawm lub cua sov, ua kom muaj kev huv ntawm qhov chaw loj hlob epitaxial, thiab txhim kho qhov zoo ntawm cov txheej epitaxial thiab kev ntseeg siab ntawm cov khoom siv.
3. Kev Ruaj Ntseg thiab Kev Rov Ua Dua: Lub tshuab cua sov ruaj khov thiab siv tau ntev yog lub hauv paus rau kev ruaj khov thiab rov ua dua ntawm ntau qhov kev sib koom ua ke (kev sib koom ua ke) thiab kev sib koom ua ke (hauv kev sib koom ua ke), uas Semixlab's TaC-coated graphite heaters muab, ua rau koj cov txheej txheem SiC epitaxial txhim khu kev qha thiab tswj tau zoo dua.
4. Lub neej ntev dua thiab txo cov nqi khiav lag luam: Qhov ntom ntom thiab kev nplaum zoo ntawm TaC txheej ua rau lub cua sov graphite ruaj khov dua, ua rau nws lub neej ua haujlwm ntev dua thaum ua haujlwm hnyav. Qhov no txhais tau tias lub sijhawm tsis ua haujlwm rau kev saib xyuas tsawg dua thiab hloov cov khoom seem tsawg dua, uas ua rau cov neeg siv khoom txo tus nqi tag nrho ntawm kev muaj.
5. Tswj Kev Ua Kub Zoo heev: Cov txheej txheem txheej txheem TaC uas tau ua tib zoo kho kom zoo muab kev tiv thaiv zoo heev thaum khaws cia kom ntau li ntau tau ntawm cov khoom siv graphite substrate uas muaj cov khoom siv thermal zoo, kom ntseeg tau tias cov cua sov tau hloov mus rau lub tais wafer thiab cov wafer saum toj no kom tswj tau qhov kub kom meej.
peb pab
Semixlab khoom khw
