CVD Tantalum Carbide (TaC) Txheej

Feem ntau, txheej txheej TaC raug txiav txim siab thaum SiC pib ncav cuag nws cov kev txwv. Qhov no tshwm sim ntau zaus hauv SiC epitaxy lossis kev loj hlob ntawm crystal, qhov twg ob qho tib si kub thiab huab cua txheej txheem xav tau ntau dua.

Nrog rau qhov chaw yaj siab dua, TaC tswj tau qhov kub siab ntev dua, tshwj xeeb tshaj yog nyob rau hauv cov chaw muaj hydrogen lossis HCl. Hauv kev xyaum, qhov no ua rau muaj qhov sib txawv hauv cov txheej txheem zoo li PVT kev loj hlob, qhov twg thermal stability ncaj qha cuam tshuam rau qhov zoo ntawm crystal.

Cov ntawv thov ib txwm muaj xws li cov nplhaib qhia kev ntws, cov noob tuav, cov khoom cuam tshuam nrog crucible, thiab lwm yam qauv hauv thaj chaw thermal. Cov khoom no raug rau cov xwm txheej hnyav rau lub sijhawm ntev, yog li txo qhov kev puas tsuaj tseem ceeb. Hauv qee qhov kev teeb tsa, TaC maj mam hloov cov ntaub ntawv qub xws li pBN, thiab txawm tias qee qhov SiC-coated qhov chaw, txawm hais tias qhov no tseem nyob ntawm tus nqi thiab cov txheej txheem tsim.