Vim Li Cas Cov Pa Roj Uas Nthuav Dav Thiaj Tsis Sib Npaug Hauv Epitaxy Kub Siab

Cov roj av uas ntab siv rau hauv cov txheej txheem kub siab epitaxy muab kev ruaj khov rau cov wafers thiab ua kom lawv txhawb nqa nrog cov roj ntws sib npaug. Hauv qhov chaw tsim khoom, cov neeg ua haujlwm yuav pom tias dhau ib lub sijhawm cov disks no poob lawv qhov sib luag. Txawm hais tias kev hloov pauv me ntsis yuav tsis tseem ceeb rau qhov sib npaug ntawm cov roj ntws thiab kev ruaj khov ntawm cov wafers, lub disk tilted yuav pib los ntawm kev hnav me ntsis lossis kev sib sau ua ke ntawm qhov chaw ntawm lub disk, thiab yuav zuj zus tuaj. Qhov no yog qhov yuav tsum tau nkag siab kom tsis txhob muaj sijhawm tsis ua haujlwm thiab kev ua tsis tiav ntawm cov khoom. Tau ntau xyoo, dhau los ntawm kev ua haujlwm txhua hnub hauv lub fab, kev hloov pauv me ntsis ntawm qhov kub thiab txias thiab cov xwm txheej ntws tuaj yeem ua rau cov disks tawm ntawm qhov sib phim niaj hnub no.

Cov Txheej Txheem Hloov Pauv Kub Hauv AMAT Centura5200 Gas Floating Disks

Lub roj floating disk feem ntau poob nws qhov tiaj tiaj hauv AMAT Centura5200 system ib feem vim yog cua sov. Thaum kub siab. Epitaxy kev loj hlob , lub disk raug cua sov tsis sib xws los ntawm lub reactor chamber. Nws tau txais ntau lub zog hluav taws xob thiab plasma los ntawm saum toj no, thiab cov roj txias ntws los ntawm hauv qab. Qhov sib txawv ntawm qhov kub ua rau muaj kev ntxhov siab thermal hauv cov khoom siv. Kev rov ua dua ntawm cov hlau lossis cov nplaim coated nrog qhov kub sib txawv ua rau kev nthuav dav thiab kev cog lus ntawm cov khoom siv disk. Txawm hais tias kev ntxhov siab ntawm txhua lub voj voog thermal yuav me me, thaum ua ntau zaus rau ntau pua lossis ntau txhiab zaus, qhov kev ntxhov siab seem uas tau sau tseg pib tsim cov thermal deformation. Qee qhov chaw nthuav dav thiab ncab ntau dua li lwm qhov thiab ua rau muaj qhov me me warp hauv lub disk. Qhov kev nqes me me no tuaj yeem cuam tshuam lub cushion roj uas tso cai rau lub disk ntab sib npaug. Qhov thermal deformation kuj tuaj yeem tshwm sim los ntawm qhov kub thiab txias gradients hla lub disk. Ib feem ntawm lub disk tuaj yeem nyob ze rau qhov chaw cua sov lossis tau txais me ntsis txias roj ntws. Ib feem ces ncab ntau dua li lwm qhov. Qhov teeb meem no yuav tshwm sim tom qab kev saib xyuas lossis kev ntxuav vim tias cov yam ntxwv ntawm cov roj ntws feem ntau hloov pauv, thiab nws yog ib txwm pom cov disk tsis ruaj khov leveling tom qab kev ua haujlwm saum toj no. Creep kuj yog ib qho teeb meem. Kub siab ua rau maj mam deformation ntawm cov khoom siv disk nyob rau hauv ib qho kev thauj khoom ntev. Qhov no yog ib qho txheej txheem qeeb yam tsis muaj kev tawg tam sim ntawd; txawm li cas los xij, nws sawv cev rau qhov qeeb "nco txog kev ntxhov siab". Hauv qee lub fabs, nws tau tshaj tawm tias muaj qhov me me ntawm lub disk tom qab ntau lub hlis ntawm kev pabcuam yam tsis muaj qhov tsis zoo. Ib qho piv txwv piv txwv tuaj yeem pom los ntawm a Sib epitaxy kab thaum lub wafer qhia tias tsis sib npaug tuab. Kev tshawb nrhiav zoo ntawm cov roj floating disk hauv lub chamber tau qhia txog lub concave disk. Qhov ua rau hauv paus tau soj ntsuam tias yog los ntawm cov voj voog kub siab, thiab cov roj txias rov qab tsis sib npaug. Kev ruaj khov ntawm cov roj floating disk feem ntau yog cuam tshuam nrog kev faib tawm kub tswj, cov roj ntws txhim khu kev qha, thiab hloov cov disks ua ntej pib nkag mus.

CVD TaC Txheej Txheem Sib Xws Li Cas Cuam Tshuam Rau Qhov Sib Npaug Thiab Kev Ruaj Ntseg Ntawm Disk?

Cov txheej txheem CVD TaC feem ntau yog siv rau cov roj floating disks vim nws tau tsim zoo, muaj kev ua tau zoo ntawm kev tiv taus kub thiab xeb nyob rau hauv qhov chaw nyuaj epitaxy. Tab sis txawm tias cov khoom siv txheej tawv ntawm tantalum carbide tsis tuaj yeem zam qhov tseem ceeb ntawm cov txheej tuab sib xws ntawm qhov tiaj tus thiab kev ruaj khov thaum lub sijhawm ua haujlwm ntawm cov roj floating disk. Thaum cov txheej tuab sib xws zoo meej thoob plaws tag nrho qhov chaw, lub disk nyob rau hauv qhov kub siab thiab siab siab ntawm cov pa roj yuav nthuav dav symmetrically, cua sov kis thoob plaws lub disk nrog tsawg dua kev ntxhov siab sab hauv. Tib lub sijhawm, lub cushion roj hauv qab lub disk tuaj yeem tsim ntau dua uniformly, uas pab txoj haujlwm ntawm wafer kom ruaj khov thaum lub sijhawm loj hlob. Qhov teeb meem tshwm sim thaum muaj qhov sib txawv ntawm cov txheej tuab ntawm tag nrho qhov chaw. Ib sab uas muaj ib qho me ntsis tuab txheej ntxiv rigidity ntxiv rau hauv thaj chaw ntawd thiab yuav teb sib txawv nyob rau hauv qhov kub siab, nws yuav nthuav dav qeeb lossis txawm tias cog lus piv rau thaj chaw nyias dua. Los ntawm kev ua kom sov tas mus li, qhov kev sib sau ua ke ntawm cov kev sib txawv no yuav ua rau muaj kev ntxhov siab sab hauv thiab ua rau lub hauv paus disk uas tiaj tus thaum xub thawj. Hauv kev tsim khoom tiag tiag, peb pom qhov teeb meem no ua qhov siab tsis ruaj khov, lossis qhov chaw ntawm cov wafers pib hloov me ntsis, txawm tias txhua yam zoo li qub. Tus kws ua haujlwm tsim khoom yuav pom nws thaum lawv pom tias qhov sib txawv ntawm qhov nruab nrab mus rau ntug ntawm cov wafer tso nyiaj tau nce ntxiv tsis tau xav txog, tsis tau, thaum kuaj xyuas lub chamber, lawv yuav paub tias lub disk floating twb muaj "qauv nqa" uas tsis pom tseeb uas feem ntau cuam tshuam rov qab rau kev hloov pauv txheej. Kuv tuaj yeem nco qab ib qho piv txwv ntawm qhov teeb meem no ntawm kab ntau lawm SiC. Lub disk floating roj zoo li pom tseeb tom qab txheej. Tom qab ntawd nws pib qhia txog kev sib txhuam me ntsis tom qab lub sijhawm ua haujlwm kub siab. Peb pom tias nws tau qhia txog ntau qhov sib txawv ntawm qhov tuab nrog kev tshuaj xyuas, tus nqi me me ntawd yog lub luag haujlwm rau lub disk me ntsis khoov ua haujlwm ntawm 1500C. Kev tswj hwm kom zoo ntawm cov roj ntws, qhov kub thiab txias thiab kev tig ntawm lub disk thaum lub sijhawm txheej yog qhov yuav tsum tau ua hauv cov txheej txheem, nrog rau kev ntsuas qhov tuab ntawm txheej txheem ntsuas tas li kom tiv thaiv kev hloov pauv sai ntawm cov txheej txheem, thiab cov txheej txheem txheej txheem yuav raug rov kho dua.

Cov Qauv Kho AMAT Gas Float Disk rau Cov Txheej Txheem Epitaxy Precision

Cov roj floating disks hauv cov khoom siv epitaxy rau cov cuab yeej precision xws li AMAT Centura yog qhov tseem ceeb los ua kom lub wafer ruaj khov thaum lub sijhawm kub siab. Muaj cov txheej txheem nruj thaum kho cov disks uas hnav, deformed lossis tsis sib npaug. Txhua qhov yuam kev hauv cov txheej txheem kho yuav cuam tshuam rau tus cwj pwm roj cushion thiab yog li qhov zoo ntawm wafer. Qhov tseem ceeb tshaj plaws uas tau soj ntsuam tom qab kho yog qhov tiaj tiaj ntawm qhov chaw. Kev kho yuav tsum ua tau raws li qhov sib npaug ntawm qhov tiaj tiaj, vim tias txawm tias me me ntawm warp tuaj yeem cuam tshuam qhov sib npaug ntawm cov roj ntws. Txhua qhov sib tsoo lossis polishing yuav tsum xyuas kom meej tias cov khoom sib npaug raug tshem tawm ntawm tag nrho qhov chaw; polishing tsis sib npaug yog qhov ua rau feem ntau ntawm cov disk tsis ua haujlwm thaum ntxov. Kev kho txheej kuj yog qhov teeb meem rhiab heev. Feem ntau cov disks raug tiv thaiv nrog CVD TaC thiab cov txheej tawv zoo sib xws. Thaum rov ua txheej, nws yog qhov tseem ceeb kom ntseeg tau tias cov txheej tuab yog sib npaug thoob plaws tag nrho qhov chaw ntawm lub disk. Cov txheej tuab tsis sib npaug ua rau qhov ntawd teb sib txawv thaum cua sov thiab tuaj yeem pab txhawb rau kev tilt lossis tsis sib npaug thaum lub sijhawm ua haujlwm. Cov Fabs tau pom cov disks dhau qhov kev tshuaj xyuas pom tom qab kho, tab sis tsim qhov siab tsis ruaj khov tom qab ob peb lub voj voog vim qhov tsis zoo no. Txawm hais tias nws zoo li tsis tseem ceeb, kev ntxuav ua ntej kho yog qhov tseem ceeb heev. Cov khoom tsis huv lossis cov khoom ua rau lub hauv paus substrate yuav ua rau lub zog ntawm cov txheej txheem tshiab puas tsuaj. Ntawm ib kab SiC epitaxy, lub disk kho tau xa rov qab mus rau qhov tsim khoom thiab tom qab ib lub lim tiam pom cov cim kev co ntawm lub wafer. Kev tshuaj xyuas tom qab kho ntawm lub disk tau qhia cov khoom seem hauv qab cov txheej txheem kho uas maj mam nthuav dav vim yog kev hloov pauv thermal. Tom qab kho, cov disks feem ntau raug kho kom sov siab kom txo qhov kev ntxhov siab uas tshwm sim thaum kho. Cov neeg ua haujlwm saib xyuas lub disk thaum lub sijhawm no kom pom cov cim qhia thaum ntxov ntawm kev warping lossis kev nqa tsis sib xws. Nws yog ib qho tseem ceeb kom tsis txhob tsuas yog kho qhov puas tsuaj xwb, tab sis kom coj rov qab qhov sib npaug qub ntawm cov khoom thermal, qhov chaw tiaj tus, thiab qhov sib npaug ntawm cov roj ntws kom ntseeg tau tias lub disk kho yuav ua haujlwm zoo li tshiab thaum lub sijhawm tsim khoom.

Kev sib raug zoo ntawm kev faib cua sov thiab kev ruaj khov ntawm wafer

Thaum lub sijhawm cov roj ntws los ua kom lub wafer sib npaug thaum lub sijhawm epitaxy, qhov kub sib npaug li cas thoob plaws lub disk thiab chamber yog qhov tseem ceeb. Yog tias cov cua sov kis tau sib npaug, cov roj zaj duab xis hauv qab nws yuav sib npaug thiab lub wafer yuav tseem sib npaug. Kev cua sov tsis sib npaug yuav pib ua rau qhov sib npaug tsis zoo. Thaum lub sijhawm ua haujlwm AMAT Centura tiag tiag, qhov chaw nruab nrab ntawm lub wafer yuav kub dua li cov npoo. Qhov laj thawj rau qhov no yog tias lub tshuab cua sov nws tus kheej tsis tsim cov duab qhia cua sov sib npaug thoob plaws qhov chaw wafer, thiab qhov txias ntawm cov roj tom qab yuav tsis sib npaug. Thaum lub wafer loj hlob kub dua hauv ib qho chaw, nws nthuav dav ntau dua ntawm qhov chaw tshwj xeeb ntawd, uas hloov pauv me ntsis ntawm cov qauv ntws ntawm cov roj hauv qab. Thaum cov roj ntws hloov pauv, qhov siab ntawm lub wafer hloov pauv. Ib sab ntawm lub wafer yuav ntab siab dua li lwm qhov. Txawm hais tias qhov no yuav tsis pom tseeb rau lub qhov muag liab qab, cov cuab yeej ua haujlwm tuaj yeem nyeem qhov no ua kev txav me me lossis oscillation thaum lub sijhawm loj hlob. Txoj hauv kev yooj yim tshaj plaws los pom qhov no yog xav txog lub puck hockey cua nyias nyias tab sis nrog ib sab ntawm qhov chaw ua si sov dua me ntsis; lub puck tseem yuav ntab, tab sis txav mus los yog qaij mus rau sab txias dua ntawm qhov chaw. Ib lub tswv yim zoo sib xws siv rau lub chamber loj hlob. Thaum lub sijhawm tsim khoom tiag tiag qhov no yuav tshwm sim ua qhov sib txawv ntawm ntug mus rau qhov chaw ntawm cov wafers, thiab / lossis hloov me ntsis hauv qhov sib dhos tom qab khiav ntev. Ib pab pawg fab tau ntsib kev loj hlob epitaxy tsis ruaj khov me ntsis tom qab ua kev saib xyuas, thiab pom los ntawm kev tshuaj xyuas tias muaj kev hloov kho rau lub chamber cua sov profile; lawv me ntsis hloov thaj chaw kub, uas tiv thaiv cov roj leveling lub disk los ntawm kev ua haujlwm raws li nws yuav tsum nrog qhov kub tsis sib xws.

Yuav kom txo qhov tsis ruaj khov ntawm lub levitating disk, cov neeg ua haujlwm feem ntau yuav tsum tau them sai sai rau peb yam tseem ceeb: cov qauv sib phim ntawm cov khoom cua sov, cov roj ntws rov qab tas li, thiab txhua qhov kev hloov pauv ntawm kev hnav ntawm lub chamber O-ring thiab ntawm qhov chaw ntawm lub disk.

Kev Txhim Kho Cov Qauv Roj Floating Disk rau Kev Txhim Kho Thermal Mus Ntev

Kev tsim cov roj floating disk rau kev siv rau ntau lub voj voog hauv lub cuab yeej epitaxy feem ntau cuam tshuam nrog kev ua haujlwm thermal. Tsis yog nws yuav tsum ua haujlwm ntawm qhov kub siab xwb, nws yuav tsum ua li ntawd tom qab 100s txog 1000s ntawm kev khiav, yam tsis maj mam tawm ntawm qhov tiaj tiaj. Kev xaiv cov khoom siv yog qhov tseem ceeb ntawm no. Cov khoom siv substrate yuav tsum muaj peev xwm dhau los ntawm kev hloov pauv thermal yam tsis tsim cov qauv kev ntxhov siab loj dhau sijhawm. Cov kev ntxhov siab yuav sib sau ua ke yog tias cov khoom siv muaj cov coefficients siab thiab dhau los ntawm kev hloov pauv thermal sai. Lub substrate qhov kev nthuav dav thermal kuj tseem yuav tsum tau sib phim zoo rau lub tsho overcoat. Hauv ib puag ncig zoo txawm tias qhov tsis sib xws thermal me me ntawm cov ntaub ntawv yuav ntxiv rau lub sijhawm thiab lub disk yuav warpage, txawm hais tias thaum xub thawj nws yuav zoo li zoo. Kev tsim overcoat kuj tseem ceeb ib yam. Ib qho CVD TaC txheej thoob plaws lub disk yuav pab nws nqus cua sov sib npaug thoob plaws nws qhov chaw. Yog tias lub txheej muaj qhov tuab sib txawv nws yuav muaj cov nqi tshuaj tiv thaiv thermal sib txawv thoob plaws qhov chaw, tsim kev ntxhov siab thermal uas yuav warpage lub disk dhau sijhawm. Nws ntseeg tau tias hauv qee pab pawg tsim khoom qhov no yuav tshwm sim dhau sijhawm ntev thaum cov disks maj mam hloov ntawm lub tiaj mus rau lub domed duab. Cov yam ntxwv geometrical kuj tseem ceeb heev. Txhua qhov kev hloov pauv hauv qhov qauv qhov, qhov tuab ntawm ntug, thaj chaw txhawb nqa, thiab lwm yam ntxwv, tuaj yeem hloov pauv tus cwj pwm ntawm cov roj ntws hauv qab lub disk. Cov dej ntws tsis sib xws tuaj yeem ua rau lub disk tsa tsis sib xws hauv qab cov txheej txheem, tsim kev ntxhov siab ntxiv thaum lub sijhawm thermal cycling, uas yuav ua rau hnav sai dua. Ib qho piv txwv ntawm kev tsim kho dua tshiab ua haujlwm hauv qab kev ntxhov siab thermal tau pom ntawm kab SiC epitaxy; ua ntej lawv hloov mus rau qhov tsim disk tshiab, lawv muaj qhov sib txawv tseem ceeb tom qab khiav ntev. Thaum hloov mus rau lub disk nrog cov channel ntws zoo tshaj plaws, qhov sib txawv txo qis, vim tias qhov profile nqa ntawm lub disk tau khaws cia kom raug dua thoob plaws hauv kev ua haujlwm raws li tau lees paub los ntawm kev kuaj xyuas kev saib xyuas ntev ntawm ob lub disks qub thiab hloov kho dua tshiab. Kev ntseeg siab thermal kuj nyob ntawm cov yam ntxwv txias. Yog tias lub disk tsis txias sib npaug, qhov no tuaj yeem "xauv" qhov kev ntxhov siab thiab ua rau muaj kev puas tsuaj ntxiv nrog kev caij tsheb kauj vab. Qhov tseem ceeb ntev flatness yog los ntawm kev ua tiav qhov sib npaug ntawm cov khoom siv thiab kev ua haujlwm txheej txheem thiab cov roj ntws tsim los ntawm lub disk.