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Quartz Shadow Nplhaib 200mm
Lub AMAT 0200-10445 Quartz Shadow Ring (200mm) yog ib qho khoom siv quartz tseem ceeb rau cov txheej txheem etching plasma, qhov twg kev tswj hwm qhov tseeb ntawm wafer ntug kev coj cwj pwm yog qhov tseem ceeb. Muab tso ze ntawm wafer perimeter hauv plasma zone, nws tsim cov teebmeem tswj hwm uas tswj hwm kev faib tawm ion, cuam tshuam ncaj qha rau qhov tseeb ntawm etch profile thiab qhov tseem ceeb ntawm qhov ntev (CD) uniformity. Tsim los rau kev sib raug zoo nrog Applied Materials (AMAT) 200mm etch platforms, lub nplhaib ntxoov ntxoo no ua lub luag haujlwm tseem ceeb hauv kev txo qis ntug over-etch, ruaj khov plasma sheath cov xwm txheej, thiab txhim kho tag nrho cov txheej txheem rov ua dua. Nws cov geometry zoo tshaj plaws kuj txhawb nqa kev tswj hwm roj ntws thiab txo cov khoom tsis xav tau, pab txhawb rau cov chaw huv si thiab cov txiaj ntsig siab dua. Tos ntsoov rau koj qhov kev nug.
Hauj lwm
Lub AMAT 0200-10445 Quartz Shield Ring (200 mm) yog ib qho khoom siv tswj hwm ntug quartz uas muaj purity siab uas tsim tshwj xeeb rau cov txheej txheem plasma etching. Nws poob rau hauv qeb ntawm cov nplhaib tiv thaiv, uas yog qhov tseem ceeb rau kev tswj hwm kev sib cuam tshuam plasma ntawm cov npoo wafer thaum lub sijhawm ua cov khoom siv semiconductor.
Ua los ntawm ultra-high-purity fused quartz, cov khoom no yog tsim los ua haujlwm nyob rau hauv cov txheej txheem hnyav, suav nrog:
● Ib puag ncig plasma muaj zog heev
● Cov tshuaj uas muaj fluorine thiab chlorine ua rau muaj kev cuam tshuam
● Kev caij tsheb kauj vab kub dua
Tsis zoo li cov khoom tiv thaiv tus qauv, lub nplhaib duab ntxoov ntxoo yog ib qho tseem ceeb rau cov txheej txheem uas cuam tshuam ncaj qha rau qhov profile etch, kev sib xws, thiab kev tswj qhov loj me tseem ceeb (CD).
Ntawm Semixlab Technology, peb cov nplhaib quartz duab ntxoov ntxoo yog tsim los ntawm kev siv cov txheej txheem hauv qab no:
● Xaiv cov khoom siv raw kom nruj kom ntseeg tau tias muaj kev ua qias tuaj tsawg
● Kev siv tshuab ua kom raug siab kom ntseeg tau tias cov duab geometric sib xws
● Kev kho qhov chaw zoo tshaj plaws kom txo tau cov khoom me me
Qhov no ua kom muaj kev ua tau zoo thiab rov ua dua hauv cov txheej txheem etching siab heev.
Hom Kev Ua Tsis Zoo
Raws li cov khoom siv tau uas raug rau cov chaw muaj zog plasma, cov nplhaib duab ntxoov ntxoo quartz raug rau cov txheej txheem degradation hauv qab no:
1. Kev puas tsuaj los ntawm Plasma
● Kev siv ion bombardment tas mus li ua rau qhov chaw ntxhib
● Kev poob ntawm cov khoom maj mam hloov pauv cov qauv tseem ceeb
Qhov cuam tshuam:
Kev ua haujlwm tswj ntug tsis zoo, ua rau muaj kev hloov pauv tseem ceeb (CD) thiab kev tsis ruaj khov ntawm cov duab.
2. Kev Tso Tawm Polymer thiab Cov Khoom Siv Los Ntawm Lwm Yam
● Cov khoom lag luam uas ua los ntawm cov txheej txheem sib sau ua ke rau ntawm qhov chaw quartz
● Cov nyiaj tso tawm yuav poob thaum lub sijhawm ua haujlwm
Qhov cuam tshuam:
Ua rau muaj kev sib kis ntawm cov khoom me me thiab qhov tsis zoo ntawm cov wafers.
3. Kev tawg ntawm kev ntxhov siab thermal
● Kev ua kom sov thiab txias rov ua dua ua rau muaj kev ntxhov siab sab hauv
● Tej kab nrib pleb me me yuav nthuav dav, ua rau cov qauv puas tsuaj
Qhov cuam tshuam:
Kev tawg tsis tau xav txog thiab lub sijhawm tsis ua haujlwm ntawm cov khoom siv.
4. Kev Tsim Cov Khoom Me Me Vim Yog Cov Khoom Siv Laus Lawm
● Kev raug plasma ntev ntev ua rau lub quartz puas tsuaj
● Cov kab nrib pleb me me tso cov khoom me me rau hauv chav
Qhov cuam tshuam:
Txo cov txiaj ntsig thiab txo qhov kev ntseeg siab ntawm cov khoom siv.
Vim li cas ho xaiv Semixlab?
Nrog kev txawj ntse tob hauv cov ntaub ntawv semiconductor thiab cov khoom siv ua haujlwm, Semixlab Technology muab cov khoom hloov pauv ua tau zoo uas ua tau raws li lossis tshaj OEM cov qauv:
● Cov pob zeb quartz uas muaj purity siab heev rau cov txheej txheem uas rhiab heev rau kev ua qias tuaj
● Cov qauv tsim kho kom raug rau kev tswj ntug kom raug
● Lub neej ua haujlwm ntev dua thiab txo tus nqi ntawm kev muaj (CoO)
● Cov qauv tsim uas sib xws nrog OEM uas sib koom ua ke nrog AMAT platforms yam tsis muaj teeb meem
Peb cov nplhaib duab ntxoov ntxoo quartz tau txais kev ntseeg siab los ntawm cov chaw tsim khoom semiconductor, txhawb nqa cov chaw tsim khoom nrhiav kev ntseeg siab, pheej yig, thiab kev ua tau zoo rau cov ntawv thov plasma etching.
daim ntawv sau npe
Qhov Chaw Siv Khoom thiab Kev Ua Haujlwm
Nruab Chaw
Feem ntau, cov nplhaib duab ntxoov ntxoo quartz raug teeb tsa:
● Nyob ib ncig ntawm thaj tsam ntug wafer
● Saum toj lossis ze ntawm lub electrostatic chuck (ESC)
● Hauv thaj tsam plasma sheath ntawm lub etch chamber
Nws ua haujlwm ua ke nrog lwm cov khoom siv ntug (xws li cov nplhaib tsom thiab cov nplhaib npog) los tsim kom muaj lub kaw lus tswj ntug tiav.
Txoj Haujlwm Tseem Ceeb
1. Kev Tiv Thaiv Plasma thiab Kev Tswj Xyuas Kev Faib Tawm Ion
Lub luag haujlwm tseem ceeb ntawm lub nplhaib tiv thaiv yog los tsim kom muaj "kev tiv thaiv":
● Xaiv thaiv lossis hloov kho qhov kev raug plasma ntawm ntug wafer
● Kho cov kaum sab xis ntawm cov ion thiab kev faib tawm ntawm cov ion
tau:
Txhim kho qhov kev tswj hwm ntawm cov duab etch, suav nrog cov ces kaum ntawm phab ntsa thiab qhov ua tau zoo ntawm cov yam ntxwv.
2. Kev Txhim Kho Qhov Sib Xws Ntawm Ntug
Los ntawm nws cov qauv geometry uas tau tsim tshwj xeeb (qhov siab, qhov sib txawv, thiab qhov profile), lub nplhaib duab ntxoov ntxoo tuaj yeem:
● Txo cov teebmeem ntawm ntug kev khawb thiab kev thauj khoom me me
● Txhim kho qhov sib npaug ntawm tus nqi etch thoob plaws lub wafer
Qhov cuam tshuam:
Txhim kho qhov sib xws ntawm qhov tseem ceeb (CD) thiab ua kom cov txiaj ntsig ntawm ntug wafer zoo dua.
3. Kev Ruaj Ntseg thiab Kev Rov Ua Dua
Cov khoom no ua kom cov plasma nyob ruaj khov hauv thaj tsam ntug los ntawm:
● Tswj cov xwm txheej ntawm cov plasma sheath kom ruaj khov
● Txo qhov kev hloov pauv ntawm cov txheej txheem thaum lub sijhawm ua haujlwm ntev
kev pab cuam:
Txhim kho qhov ruaj khov ntawm lub qhov rais txheej txheem thiab rov ua dua hauv kev tsim khoom ntau.
4. Kev Tswj Xyuas Kev Ua Phem thiab Cov Khoom Uas Tsis Zoo
Lub nplhaib duab ntxoov ntxoo kuj pab rau:
● Txwv cov chaw tso khoom tsis xav tau
● Tswj kev faib tawm ntawm cov polymers thiab cov khoom lag luam
Qhov no txo qhov kev pheej hmoo ntawm cov khoom me me thiab pab txhawb rau kev ua haujlwm ntawm chav huv dua.
peb pab
Semixlab khoom khw
