Dab Tsi Txhais Tau SiC Coated Epi Susceptor Hauv Kev Tsim Khoom Epitaxial Tseem Ceeb

Ib qho epi susceptor coated nrog SiC yog lub hauv paus ntawm ntau yam cuab yeej loj hlob epitaxial, tab sis muaj kev cuam tshuam loj rau qhov tshwm sim ntawm cov wafers semiconductor niaj hnub no. Nws yog siv rau hauv cov kab ntau lawm ib txwm los tuav thiab txhawb nqa wafers thaum lub sijhawm cua sov rau qhov kub siab heev thiab raug rau cov pa roj reactive. Lub silicon carbide txheej pab kom qhov chaw ruaj khov, huv si thiab tiv taus cov xwm txheej tshuaj lom neeg hnyav. Yog tias nws tsis yog, qhov zoo ntawm wafer yuav sai sai poob thiab ua rau cov khaubncaws sab nraud povtseg tsis sib xws lossis cov khoom tsis xav tau. Rau cov engineers, nws yog lub platform ruaj khov uas tso cai rau cov neeg siv kom khaws cov txheej txheem kom kwv yees tau li sai tau, tshwj xeeb tshaj yog thaum tsim cov khoom siv ua haujlwm siab nrog cov ntaub ntawv xws li GaN lossis Sic wafer .

Cov Kev Xav Tau Thermal thiab Mechanical hauv Epitaxial Growth Processes

Kev loj hlob ntawm Epitaxial xav kom tus susceptor kov tau ob qho tib si cua sov thiab siab thaum lub sijhawm tuav cov wafers. Sab thermal yog qhov nyuaj tshaj plaws. Nws yooj yim mus txog qhov kub siab tshaj plaws ntawm 1000 ° C hauv lub reactor, thiab ntawm qhov kub no txawm tias qhov sib txawv me me ntawm qhov kub thiab txias hauv kev faib cua sov yuav cuam tshuam rau kev loj hlob ntawm cov zaj duab xis nyias nyias ntawm cov wafer. Sic coated graphite susceptor faib cov cua sov sib npaug zos rau ntawm qhov chaw kom tsis txhob muaj cov chaw kub thiab cov chaw txias rau cov wafers ntawm lub susceptor. Cov txheej txheem loj hlob tseem zoo ib yam thaum qhov kub sib npaug - qee yam uas cov neeg tsim khoom siv xav tau thaum tsim cov LEDs thiab cov chips fais fab. Xav txog tias koj muaj lub qhov cub, thiab ib lub tais ntawm cov ncuav qab zib raug muab tso rau hauv qhov cub thaum lwm lub tais raug tso tseg. Thaum cov zaub mov raug cua sov tsis sib npaug, ib sab raug siav ua ntej sab tod. Lub tswv yim tib yam siv ntawm no, tab sis es tsis txhob yog cov zaub mov, nws yog ib lub wafer nyias nyias ntawm cov atoms. Los ntawm qhov kev xav ntawm lub tshuab, lub susceptor yuav tsum ruaj khov tom qab ua kom sov thiab txias dua. Cov voj voog no ua rau muaj kev ntxhov siab vim yog qhov sib txawv ntawm kev nthuav dav thiab kev cog lus ntawm cov ntaub ntawv. SiC txheej tuaj yeem txo qhov hnav rau lub hauv paus graphite hauv qab. Nws kuj muaj cov khoom tiv thaiv kev tawg thiab tiv thaiv kev puas tsuaj ntawm qhov chaw thaum rov thauj khoom thiab tshem tawm cov wafers. Hauv cov kab ntau lawm tiag tiag, cov engineers yuav tsum ua cov txheej txheem ntev, ntev li ntau teev. Thaum lub sijhawm no, lub susceptor tsis raug tso cai khoov lossis poob cov khoom me me. Cov khoom me me heev tuaj yeem poob rau ntawm wafers thiab ua rau ib pawg raug puas tsuaj. Yog vim li cas qhov tawv ntawm qhov chaw thiab qhov ruaj khov ntawm cov qauv tseem ceeb nrog rau kev tswj cua sov. Tsis tas li ntawd, qhov teeb meem ntawm cov pa roj ntws hauv lub chamber. Cov pa roj ntws hla cov wafers, nyob ntawm seb cov duab ntawm tus susceptor thiab qhov xwm txheej ntawm qhov chaw. Qhov chaw tuaj yeem poob nws qhov du thiab tiaj tus nrog hnub nyoog, ua rau cov pa roj ntws sib txawv, thiab tom qab ntawd tsis sib xws loj hlob. Feem ntau, cov pab pawg tshuaj xyuas cov txheej txheem rau kev hnav thiab kev hloov pauv ntawm qhov chaw ntawm cov khoom thiab rau kev ntxhov siab tom qab rov ua dua ntawm cov voj voog hauv kev siv txhua hnub. Cov kev tswj hwm no ua rau cov txheej txheem ruaj khov thiab txo qis lub sijhawm tsis xav txog.

Cov txiaj ntsig ntawm SiC Coatings rau Kev Sib Npaug Kub thiab Kev Tswj Xyuas Kev Ua Phem

Qhov zoo tshaj plaws ntawm kev siv SiC coated epi susceptors yog lawv lub peev xwm los tswj cov txheej txheem kub kom ruaj khov thaum lub sijhawm loj hlob. Cov wafers raug muab tso rau hauv lub epitaxial reactor thiab raug rau qhov kub siab heev, txawm tias qhov me me tuaj yeem cuam tshuam rau zaj duab xis txoj kev loj hlob. Lub Sic txheej faib cov cua sov kom sib npaug zos rau saum npoo ua rau yuav luag sib npaug zos rau txhua lub wafer. Qhov no tuaj yeem ua qhov sib txawv tseem ceeb hauv kev tsim cov khoom xws li GaN LEDs lossis cov khoom siv fais fab, qhov twg qhov tuab thiab cov khoom sib xyaw ntawm cov khaubncaws sab nraud povtseg yuav tsum sib npaug zos los ntawm wafer mus rau wafer. Xav txog tias koj tab tom kib rau ntawm qhov chaw ua noj zoo, tiaj tus. Yog tias qhov chaw ua noj ua haus sib npaug zos, txhua qhov ntawm cov khoom noj ua noj tib lub sijhawm. Txwv tsis pub, qee qhov yuav hlawv thiab qee qhov yuav tsis siav txaus. Tib yam siv rau kev ua wafer, qhov sib txawv tsuas yog tias cov khoom noj yog cov txheej nyias nyias ntawm cov siv lead ua uas yuav tsum tau tsim kom meej. Lwm qhov zoo dua yog kev tiv thaiv kev ua qias tuaj. Hauv cov chav kub siab, cov khoom tsis muaj txheej txheem yuav tso tawm cov khoom me me lossis cuam tshuam nrog cov pa roj ua haujlwm dhau sijhawm. Lawv yog cov khoom me me uas tuaj yeem tsaws rau ntawm wafers, thiab ua rau muaj qhov tsis zoo uas nyuaj rau txheeb xyuas thaum xub thawj, tab sis yuav pom tseeb tias yog qhov tsis ua haujlwm ntawm cov khoom siv. Ib txheej SiC tiv thaiv qhov chaw zoo li daim tawv nqaij thiab txo qis cov tshuaj tiv thaiv tsis zoo. Cov kws ua haujlwm kuj tseem yuav pom tias, hauv cov xwm txheej tsim khoom tiag tiag, cov txiaj ntsig ntawm chav huv yuav nce ntxiv nrog kev siv cov khoom SiC-coated tas li. Piv txwv li, cov kab tsim khoom LED: tsuas yog txo me ntsis ntawm cov khoom me me ua rau muaj qhov zoo dua qub. Cov txheej txheej kuj pab ua kom qhov chaw du nrog lub sijhawm. Qhov chaw du txhais tau tias muaj tsawg dua "cov ntsiab lus lo lossis tsim" qhov twg cov khoom me me tuaj yeem daig. Qhov no ua rau kev ntxuav yooj yim dua thiab tso cai rau kev khiav ntev dua. Txawm li cas los xij, hauv kev xyaum, cov neeg ua haujlwm tseem saib xyuas qhov xwm txheej ntawm cov txheej txheej. Thaum qhov chaw pib hnav, yuav muaj kev hloov pauv me ntsis hauv kev faib cua sov ntawm qhov chaw thiab tseem muaj kev pheej hmoo ntawm kev ua qias tuaj. Kev hloov pauv / rov ua dua raws sijhawm ua kom ntseeg tau tias cov txheej txheem ruaj khov thiab tiv thaiv kev poob ntawm cov wafers hauv cov txheej txheem.

Kev Sib Piv nrog Silicon thiab SiC Epitaxial Applications

Ib qho SiC coated epi susceptor feem ntau raug xaiv vim nws muaj peev xwm siv rau ob qho tib si silicon thiab silicon carbide epitaxial txheej txheem. Ob yam khoom siv yuav zoo ib yam, tab sis coj tus cwj pwm txawv thaum raug rau qhov kub siab thiab cov pa roj ua haujlwm. Qhov ntawd yog qhov uas kev sib raug zoo los ua si. Feem ntau yuav tsum muaj cov xwm txheej huv si thiab ruaj khov hauv silicon epitaxy. Tus susceptor tsis tuaj yeem sib cuam tshuam nrog cov pa roj xws li silane lossis lwm yam pa roj siv rau kev tso cov txheej silicon. Cov txheej txheem SiC ua rau yog ib qho thaiv ruaj khov uas tiv thaiv cov graphite hauv qab los ntawm kev cuam tshuam nrog cov txheej txheem. Qhov no yog qhov tseem ceeb kom khaws cov khoom siv xws li sensors, CMOS chips thiab cov khoom siv hluav taws xob kom huv si li sai tau. Cov kev xav tau ntau dua rau silicon carbide epitaxy. Qhov kub ntawm kev loj hlob sov dua, qhov chaw tshuaj lom neeg muaj zog dua. Qhov chaw susceptor yuav tsis ruaj khov thiab pib erode lossis tso cov khoom me me. Qhov chaw SiC coated tiv taus cov xwm txheej no zoo dua thiab ua rau nws muaj peev xwm khiav tau ntev dua yam tsis muaj kev hloov pauv tseem ceeb hauv cov khoom zoo. Ib qho piv txwv ntawm qhov no yog siv tib lub khoom siv hauv chav ua noj rau ntau dua ib daim ntawv qhia. Lub cuab yeej yuav tsum ruaj khov thiab huv si txaus kom tsis txhob hloov pauv qhov saj ntawm ob qho khoom noj. Nrog epitaxy, qhov me me ntawm kev ua qias tuaj yeem hloov cov khoom siv hluav taws xob, ua rau cov khoom sib xws yog qhov tseem ceeb uas yuav tsum xav txog. Rau kev tsim khoom tiag tiag, cov fabs uas siv silicon ntxiv rau SiC yuav nyiam cov txheej txheem uas sib xws thoob plaws ob qho tib si silicon thiab SiC. Qhov no txo ​​qhov xav tau kev hloov khoom siv ntau zaus, thiab tswj kev ruaj khov ntau dua hauv kev kho cov txheej txheem. Thaum lub kaw lus SiC txheej txheem ruaj khov tau tsim, nws yooj yim dua rau cov engineers los kho cov zaub mov txawv, vim tias qhov xwm txheej hauv paus tsis hloov pauv tas li. Lwm qhov ua tau zoo yog qhov sib phim thermal. SiC txheej txheem zoo dua rau kev tswj hwm kev nthuav dav / kev cog lus hauv qab cov voj voog kub siab, pab khiav ob qho tib si silicon txheej txheem thiab SiC txheej txheem yam tsis muaj kev qhia txog qhov tsis zoo ntsig txog kev ntxhov siab. Qhov kev ruaj khov no dhau sijhawm pab kom ua tiav cov txiaj ntsig siab dua thiab tsawg dua qhov kev hloov pauv tsis tau xav txog.

Kev Sib Piv Ntawm SiC Coated thiab Lwm Cov Khoom Siv Susceptor

Cov khoom siv uas muaj SiC coated qee zaum piv rau cov graphite thiab quartz susceptors uas tsis muaj coated thiab qee zaum kuj muaj cov khoom siv TaC coated los xaiv cov khoom siv rau kev loj hlob epitaxial. Txhua yam khoom siv muaj zog, tab sis ua haujlwm txawv heev tom qab ua tiav ntev ntawm qhov kub siab. Qhov yooj yim tshaj plaws yog graphite liab qab. Tiv taus cua sov thiab yooj yim txiav rau hauv cov duab thiab cov qauv tsim. Qhov ntes yog tias qhov ruaj khov ntawm qhov chaw ploj mus. Graphite yuav maj mam teb nrog cov pa roj ntawm qhov kub siab thiab tso tawm cov khoom me me. Qhov no ua rau muaj teeb meem hauv kev ua qias tuaj thiab kev ntxuav / hloov pauv ntau zaus dhau sijhawm. Qhov no yog thaj chaw tsis muaj zog hauv cov kab ntau lawm uas xav tau kev tswj hwm nruj. Qee cov txheej txheem kub qis siv cov khoom siv quartz susceptors. Tiv taus qee cov tshuaj lom neeg, lawv huv tab sis tsis tuaj yeem tiv taus qhov kub siab heev. Txawm li cas los xij, quartz tuaj yeem raug cuam tshuam lossis tsis ruaj khov nyob rau hauv qee qhov xwm txheej, tshwj xeeb tshaj yog thaum lub sijhawm loj hlob ntawm GaN lossis SiC, txo nws qhov kev siv tau hauv cov ntawv thov epitaxy siab heev. Cov khoom siv SiC coated nyob hauv nruab nrab tab sis tilted rau kev ua tau zoo siab. Cov txheej no yog siv rau ntawm lub hauv paus graphite kom muab qhov tawv rau ntawm qhov chaw thiab muab cov graphite nrog kev ruaj khov tshuaj lom neeg. Qhov no txo ​​qhov ntau ntawm cov khoom me me uas tsim tawm thiab tswj kev sib xws thaum khiav rau lub sijhawm ntev. Nws kuj tseem ua rau muaj kev tiv thaiv roj av tshwj xeeb tshaj yog nyob rau hauv qhov chaw kub ntxhov. Ob peb qhov kev teeb tsa siab kuj suav nrog cov susceptors uas tau coated nrog TaC. Lawv tuaj yeem nyob tau ntau qhov chaw kub thiab kub dua, feem ntau kim dua thiab tej zaum yuav tsis xav tau rau cov kab ntau lawm. SiC feem ntau raug xaiv rau ntau lub fabs vim nws muab kev sib haum xeeb ntawm kev ruaj khov ntawm cov txheej txheem, kev ruaj khov, thiab tus nqi. Hauv kev tsim khoom tiag tiag, qhov kev txiav txim siab yuav tsum yog raws li lub hom phiaj tsim khoom. LED fabs, piv txwv li, uas txaus siab rau qhov ntim thiab cov txiaj ntsig ruaj khov, pom cov kab ke nrog SiC coated nyiam vim lawv txo qis lub sijhawm downtime thiab tswj cov wafer zoo. Rau kev siv rau hauv feem ntau cov ntawv thov, SiC yog ib qho kev xaiv zoo uas tuaj yeem siv nrog ntau qhov kub thiab txias, thaum nyob rau hauv cov kab tshawb fawb, cov txheej txheem siab dua yuav raug sim. Hauv kev xaus, lwm cov ntaub ntawv tsim nyog rau cov ntawv thov sib txawv tab sis SiC coated susceptors yog qhov tshwj xeeb hauv lawv lub peev xwm los ua kom ruaj khov, huv si thiab muab cov txheej txheem thermal sib xws hauv ib qho kev teeb tsa.

Kev Sib Npaug ntawm Tus Nqi thiab Kev Ua Tau Zoo rau Kev Tsim Khoom Ntau

Tus susceptor tsis yog tsuas yog ib qho khoom siv hauv kev tsim khoom epitaxial ntau xwb. Nws kuj tseem cuam tshuam rau tus nqi khiav, lub sijhawm tsis ua haujlwm thiab kev ruaj khov ntawm cov zis dhau sijhawm. SiC coated epi susceptors yuav ua pov thawj tias muaj txiaj ntsig zoo tshaj plaws hauv qhov no; kev sib haum xeeb ntawm kev ua tau zoo thiab tus nqi. Hauv cov nqe lus ntawm tus nqi, SiC coated susceptor kim dua li graphite liab qab. Muaj cov kauj ruam ntxiv thiab kev tswj hwm zoo dua rau cov txheej txheem txheej. Qee lub fabs yuav tsis kam pib vim yog tus nqi siab dua. Hauv lub ntiaj teb tiag tiag ntawm kev tsim khoom, txawm li cas los xij, qhov ntawd tsis yog qhov teeb meem. Hauv qhov kub thiab txias thiab cov pa roj reactive, cov khoom graphite liab qab feem ntau hnav sai dua. Qhov no ua rau muaj kev ntxuav ntau ntxiv, rov ua dua lossis hloov pauv tag nrho. Cov no yog txhua kauj ruam uas yuav pab qeeb qeeb txoj kab lossis txawm tias nres kev tsim khoom tag nrho. Ob peb vib nas this ntawm lub sijhawm tsis ua haujlwm ntawm lub cuab yeej tuaj yeem raug nqi ntau txhiab wafers thaum cov wafers raug ua tiav ntws hauv ntau tus lej. SiC txheej ua rau lub neej ua haujlwm ntev dua. Nws pab tiv thaiv kev tawm tsam tshuaj lom neeg rau lub hauv paus thiab txo qis kev yaig ntawm qhov chaw. Qhov no txo ​​cov lej ntawm lub sijhawm txij nkawm thiab ua kom muaj kev khiav ntev dua. Qhov kev ruaj khov no tuaj yeem ua rau muaj cov zis zoo dua rau kev tsim cov khoom siv LED / fais fab ntau, txawm tias tus nqi siab dua. Ib qho ntxiv, nws yog qhov sib xws ntawm cov zis. Yog tias qhov chaw susceptor tseem nyob ruaj khov, qhov sib txawv ntawm cov wafers raug txo qis. Hauv lub Hoobkas sib dhos tiag tiag, txawm tias qhov nce me me hauv cov zis tuaj yeem ua rau cov khoom siv txuag tau sai sai. Ib tus neeg tsim LED, piv txwv li, tau hais tias nws muaj qhov tsis zoo ntawm cov khoom me me uas tshwm sim tom qab siv cov khoom SiC coated, ua rau muaj kev ua haujlwm dua thiab pov tseg tsawg dua hauv lub sijhawm ntev. Kuj tseem muaj tus nqi zais ntawm kev kho cov txheej txheem. Txhua zaus muaj kev hloov pauv lossis kev puas tsuaj ntawm susceptor, daim ntawv qhia tshiab yuav tsum tau tsim lossis hloov kho kom ntseeg tau tias muaj txiaj ntsig zoo sib xws. Qhov chaw SiC coated ruaj khov dua yuav txo cov kev hloov kho no, yog li txuag lub sijhawm thiab kev siv zog engineering. Thaum kawg, nws tsis yog tsuas yog kev yuav khoom ntawm ib feem xwb. Nws yog hais txog pes tsawg lub wafers ruaj khov uas lub kaw lus tuaj yeem ua kom txog thaum xav tau kev saib xyuas. SiC coated susceptors tuaj yeem siv rau hauv ntau cov kab ntau lawm kom tswj tau qhov kev ntseeg siab-tus nqi sib npaug.