Yuav ua li cas TaC Coated Rotation Susceptors Pab Kom Muaj Kev Sib Xws Hauv Kev Tsim Khoom MOCVD Siab Tshaj Plaws

Rau qhov chaw tsim khoom MOCVD siab heev, kom muaj ib zaj duab xis nyias nyias ntawm txhua lub wafers uas sib xws thoob plaws hauv tag nrho cov susceptor yeej ib txwm yog qhov nyuaj tseem ceeb. Lwm qhov ntawm cov khoom me me yog rotation susceptor uas tuaj yeem tseem ceeb yog tias Tac txheej muaj feem cuam tshuam. TaC txheej muaj peev xwm ua rau tus susceptor tiv taus kub dua thiab ruaj khov dua rau kev siv mus sij hawm ntev. Qhov tseeb rau cov kab tsim khoom ntawm LEDs thiab cov khoom siv fais fab, tsuas yog qhov sib txawv ntawm qhov kub thiab txias tuaj yeem muaj kev cuam tshuam rau cov txiaj ntsig. Thaum koj koom nrog TaC coated rotation susceptors, feem ntau cov engineers pom tias wafer rau wafer, chaw thiab ntug yog qhov rov ua dua ntau dua. Qhov no yog kev hloov kho vajtse yooj yim tab sis qhov cuam tshuam rau tag nrho cov khoom tuaj yeem ua rau muaj txiaj ntsig ntau dua ntawm koj txoj haujlwm txhua hnub.

Qhov Tseem Ceeb ntawm Wafer Rotation hauv Epitaxial Thickness thiab Composition Control

Hauv MOCVD, cov wafers raug tuav thiab cua sov tib lub sijhawm thaum raug dhau los ntawm cov pa roj. Cov pa roj no yog siv los thauj cov khoom xyaw kom tso cov khaubncaws sab nraud povtseg rau ntawm qhov chaw ntawm wafer. Ib qho teeb meem cuam tshuam yog tias, yog tias koj tsis tuaj yeem xav tias qhov ntws thiab kub yog sib xws thoob plaws hauv chav. Yog tias lub wafer tsis txav qee lub wafer yuav tau txais cov khoom siv / cua sov ntau dua piv rau lwm tus, ua rau cov tuab tsis sib xws lossis hloov cov khoom siv. Cov teebmeem no tuaj yeem muaj cov teebmeem loj rau cov khoom siv xws li LED lossis cov khoom siv hluav taws xob. Qhov no yog qhov uas kev sib hloov los ua si. Thaum lub wafer raug loj hlob, nws tig thiab yog li ntawd txhua lub sijhawm, ntau ntu ntawm wafer raug tuav hauv thaj chaw sib txawv ntawm cov pa roj ntws / thaj chaw thermal. Cov kev hloov pauv me me ntawm ntau qhov chaw ntawm chav yuav thaum kawg raug leveled tawm vim kev sib hloov. Ib yam li tig ib lub steak ntawm lub barbecue, cov zaub mov yuav tau txais cua sov ntau dua hauv qee qhov chaw dua li lwm qhov ua rau muaj qhov hlawv thiab qhov tsis siav. Hauv qhov xwm txheej tsim khoom tiag tiag, qhov nrawm sib hloov kuj tuaj yeem sib txawv raws li cov ntaub ntawv cog qoob loo. Piv txwv li, cov txheej ntawm Gallium Nitride siv los cog LEDs, kev hloov pauv yooj yim hauv qhov tuab tuaj yeem hloov cov xim tso zis ntawm lub nti, qhov no tuaj yeem txo qis los ntawm kev hloov pauv qhov nrawm ntawm kev sib hloov kom tuaj yeem tsim cov txheej ntawm qhov tuab sib xws thoob plaws lub wafer, ua rau muaj qhov ci ntsa iab / xim wafer-rau-wafer. Lwm qhov kev siv rau kev sib hloov yog qhov sib xws ntawm cov khoom siv thaum lub sijhawm tso tawm. Cov khoom sib xyaw ua ke yuav tsum sib xws thoob plaws lub wafer; cov yam ntxwv ntawm cov khoom siv yuav hloov pauv yog tias qhov concentration ntau dua ntawm ib qho khoom siv tau tso cai rau sib sau ua ke hauv ib ntu ntawm lub wafer. Cov txheej txheem kev sib hloov tuaj yeem tiv thaiv qhov no los ntawm kev txav lub wafer, cov teebmeem yuav tau txo qis kom tsis muaj. Cov neeg siv ntawm cov txheej txheem MOCVD raug qhia kom tshawb xyuas thiab / lossis ua kom zoo dua lawv cov chaw sib hloov. Pib siv cov khoom siv tsim khoom cov nqi pom zoo thiab ua qhov kev hloov pauv me me thaum saib cov ntawv qhia tuab thiab cov khoom zoo. Kev hloov pauv kev sib hloov tuaj yeem muab cov txiaj ntsig hauv kev sib xws thiab txo cov naj npawb ntawm cov wafers pov tseg.

Kev Xav Tau Txog Kev Siv Tshuab Thiab Thermal Rau Cov Khoom Siv Hloov

Txoj haujlwm ntawm lub rotation susceptor nyuaj heev hauv lub MOCVD reactor. Yuav tsum tswj qhov chaw ruaj khov ntawm lub wafer, tig nws ntawm qhov ceev tswj thiab nyob ruaj khov hauv qab qhov kub siab heev. Lub susceptor yog ib qho khoom siv hauv nruab nrab ntawm feem ntau ntawm cov txheej txheem uas tuaj yeem ua tiav ntawm qhov kub siab tshaj 1000 ° C. Lub caij no nws raug kev txom nyem los ntawm cov roj ntws siab thiab qhov kub hloov pauv ntau zaus. Qhov no ob qho tib si mechanically thiab thermally stressed cov khoom. Mechanically sib npaug yog qhov tseem ceeb. Txawm tias yog tias lub susceptor tsis sib npaug, qhov kev co tuaj yeem tsim los ntawm qhov tsis sib npaug me me thaum lub susceptor tig. Qhov kev co no tuaj yeem ua rau qhov chaw wafer tsis sib xws dhau sijhawm lossis txawm tias ua rau puas tsuaj rau cov khoom siv. Yog li ntawd, cov Susceptors raug tshuab thiab kuaj xyuas ua ntej siv. Hauv cov kab ntau lawm tiag tiag, cov engineers yuav tsum xyuas kom meej rau kev hnav, warping lossis tej zaum me me heev uas yuav nthuav dav thaum lub sijhawm ua haujlwm. Lwm qhov teeb meem yog thermal stress. Lub susceptor kub sai sai thiab xav tau faib cov cua sov sib npaug thoob plaws lub wafer. Thaum ib cheeb tsam kub dua li lwm qhov, nws tuaj yeem muaj kev cuam tshuam rau kev loj hlob ntawm cov khaubncaws sab nraud povtseg. Lub caij no, cov khoom yuav nthuav dav thaum cua sov thiab cog lus thaum txias. Yog tias rov ua ntau zaus, qhov kev nthuav dav no tuaj yeem ua rau qaug zog. Qhov no tuaj yeem ua rau cov khoom siv susceptor poob lawv cov duab lossis muaj qhov tsis zoo ntawm qhov chaw yog tias nws tsis tuaj yeem tiv taus nws. Qhov ntawd yog qhov uas cov txheej txheem xws li CVD TSI los ua si. Ib txheej TaC tuaj yeem tiv taus qhov kub siab thiab tuaj yeem tiv thaiv cov khoom siv hauv paus los ntawm kev tawm tsam tshuaj lom neeg los ntawm cov pa roj reactive. Tsis tas li ntawd nws yuav txhim kho kev faib cua sov hla qhov chaw uas pab txhawb kev loj hlob. Qhov no hauv kev xyaum txhais tau tias lub neej ntev dua thiab kev ua haujlwm ntawm lub voj voog txij nkawm ruaj khov. Rau cov neeg teb xov tooj, nws yog ib qho tseem ceeb kom saib xyuas qhov kub thiab txias sib xws thiab lub cev. Tsis txhob hloov pauv kub sai sai, kev ntxuav kom huv thiab kev kuaj xyuas tsis tu ncua tuaj yeem pab ua kom lub neej ntawm tus neeg raug mob ntev dua. Ua cov haujlwm me me zoo li no tuaj yeem pab zam cov teeb meem loj dua thiab pab cov txheej txheem nyob ntawm txoj kev.

Kev Ua Haujlwm Txheej Txheem TaC nyob rau hauv Thermal Cycling thiab Dynamic Stress

Tus susceptor tsis nyob hauv lub xeev ruaj khov thaum lub sijhawm ua haujlwm MOCVD ib txwm muaj. Nws tig, txias thiab cua sov tib lub sijhawm. Qhov no yog kev sib xyaw ua ke ntawm lub voj voog thermal thiab kev ntxhov siab dynamic, uas tuaj yeem ua rau ntau cov ntaub ntawv puas tsuaj. Qhov ntau qhov khiav uas ua tiav, qhov ntau lub voj voog ntxiv, thiab cov kev hloov pauv me me tuaj yeem dhau los ua teeb meem loj hauv lub lis piam lossis lub hlis yog tias lub txheej tsis muaj zog txaus. Qhov no yog ib puag ncig uas a TaC coated graphite rhaub tuaj yeem tiv taus. Lawv yog tus cwj pwm los ntawm lawv lub peev xwm los tiv taus qhov kub thiab txias rov ua dua. Ib txheej TaC tsis tawg thaum cov khoom nthuav dav, tab sis nws tseem zoo. Qhov no pab kom qhov chaw ntawm susceptor du thiab sib npaug, uas yog qhov tseem ceeb rau kev sib cuag tas li thiab kev hloov pauv cua sov ntawm susceptor thiab wafer. Tsis tas li ntawd, muaj kev ntxhov siab ntxiv. Thaum lub susceptor tig nws yuav raug rau lub zog centrifugal uas yuav maj mam ua rau muaj qhov tsis sib xws hauv qhov chaw lossis qhov tsis sib npaug thiab cov txheej txheej hnav dhau sijhawm vim yog kev txav mus los uas pab ua kom muaj txheej TaC ruaj khov, uas yuav raug lo rau cov khoom siv hauv paus thiab tsis zoo li yuav delaminate dhau ntau lub voj voog, yog li hauv kev tsim khoom yuav muaj kev cuam tshuam tsawg dua rau kev rov ua txheej / hloov qhov chaw.

Kev Pab Txhawb Rau Kev Tsim Khoom Loj Hauv Cheeb Tsam Thiab Ntau Lub Wafer

Kev sib xws yog qhov nyuaj dua los ua tiav thaum MOCVD raug nthuav dav los ntawm cov wafers me me mus rau cov wafers tsim khoom. Thaum cov wafers loj dua, lossis ntau cov wafers hauv tib lub chamber, ntau qhov sib txawv tshwm sim thoob plaws hauv lub chamber. Cov roj ntws thiab kev faib tawm ntawm cov cua sov thiab cov teebmeem ntug txhua qhov nce ntxiv. Qhov sib txawv me me tuaj yeem ntxiv thaum ib tus tsim ntau pua lossis ntau txhiab tus wafers ib hnub. Qhov ntawd yog qhov uas TaC coated rotation susceptors tuaj rau hauv kev ua si los pab tswj kev ruaj khov. Rau kev ua haujlwm thaj chaw loj, cov cua sov yuav tsum tau faib sib npaug thoob plaws thaj chaw loj dua. Qhov no tuaj yeem txhawb nqa los ntawm TaC txheej zoo, uas yuav txhim kho qhov sib npaug ntawm cov susceptor. Yog tias qhov kub thiab txias tas li thoob plaws hauv wafer, cov khaubncaws sab nraud povtseg wafer tau tsim ntau dua. Qhov no pab txo cov teeb meem xws li kev hloov pauv tuab lossis kev hloov pauv sib xyaw hauv wafer. Txoj haujlwm yog qhov loj dua hauv ntau lub tshuab wafer. Qhov chaw ntawm txhua wafer hauv lub reactor tsis zoo ib yam. Yog tias cov wafers sab nraud tsis raug tswj hwm zoo, lawv tuaj yeem tsim txawv dua li cov wafers sab hauv. Thaum kev sib hloov pab txo qhov sib txawv no, nws tseem yog qhov cuam tshuam ntawm qhov chaw. Qhov chaw uas TaC coated ua kom muaj kev teb thermal zoo ib yam rau txhua qhov chaw wafer, uas ua rau muaj cov xwm txheej zoo sib xws rau cov txheej txheem loj hlob ntawm txhua lub wafer. Qhov sib txawv no qee zaum pom los ntawm cov engineers hauv qhov chaw tsim khoom tiag tiag thaum nce qib. Qhov no yuav ua haujlwm ntawm ib lub wafer, tab sis pib hloov pauv thaum nce mus txog ntau. Thaum lub coated susceptor hloov mus rau qhov tsim ruaj khov dua, qhov sib txawv yuav txo qis thiab cov txiaj ntsig nce ntxiv. Hauv kev lag luam LED thiab lub zog fais fab, qhov sib txawv me me tuaj yeem cuam tshuam rau kev ua tau zoo thiab / lossis lub neej ntev. Lwm qhov ua tau zoo yog cov txheej txheem rov ua dua. Yog tias lub susceptor ua zoo ib yam los ntawm kev khiav mus rau kev khiav, nws yooj yim dua los kho cov zaub mov txawv thiab kom ua tiav cov txiaj ntsig sib xws. Qhov no txuag cov neeg ua haujlwm los ntawm lub sijhawm pov tseg hauv kev kho rau drift thiab ua rau muaj kev ruaj khov ntawm kev tsim khoom. Hauv lub sijhawm ntev, qhov no tso cai rau cov chaw tsim khoom kom lawv lub kaw lus zoo yam tsis tas yuav hloov pauv tas li.

Cov Qauv Siv Rau Kev Siv TaC Coated Rotation Designs

Qhov sib txawv ntawm kev txhim kho cov txiaj ntsig thiab kev tswj hwm nruj dua txuas ntxiv mus ntxiv ntawm cov chaw tsim khoom semiconductor. Qhov zoo ntawm cov wafer yog qhov tseem ceeb rau kev ua haujlwm ntawm cov khoom siv rau EVs, 5G thiab cov khoom siv hluav taws xob, thiab kev hloov me ntsis hauv cov zaj duab xis tuab tuaj yeem muaj kev cuam tshuam. Vim li no, cov chaw tsim khoom ntawm cov khoom siv tau nce lawv qhov kev tsom mus rau cov khoom hauv MOCVD reactor uas pab txhawb rau kev loj hlob ruaj khov. Cov khoom siv sib hloov coated rau kev ruaj khov ntawm cua sov thiab tshuaj lom neeg dhau sijhawm ntev tau txais kev saib xyuas ntau dua vim yog kev siv TaC. Qhov kev taw qhia tam sim no zoo li yog rau cov wafers loj dua thiab cov zis siab dua ib qho kev khiav. Raws li cov chaw tsim khoom txav los ntawm cov wafers me dua mus rau 200mm thiab txawm tias 300mm wafers, kev tswj qhov kub thiab txias thoob plaws thaj chaw saum npoo av tau dhau los ua qhov nyuaj dua. Cov khoom siv coated uas muaj peev xwm faib cov cua sov sib npaug tau dhau los ua qhov tseem ceeb dua. Cov qauv tsim coated kuj tau dhau los ua ntau dua rau cov kab ntau lawm vim qhov no. Lwm tus tsav tsheb yog tias thaum SiC thiab GaN Devices nkag mus rau hauv qhov chaw. Rau qhov ntawd, qhov ntau thiab tsawg ntawm qhov kub thiab txias yog qhov tsim nyog rau kev loj hlob Epitaxial. Kev hloov me me ntawm cov txheej txheem ntawd yuav ua rau muaj qhov tsis zoo ntawm cov txheej txheem ntawd. Tam sim no ntau lub chaw tsim khoom tau siv cov txheej txheem susceptor zoo dua rau kev tswj hwm zoo dua rau ntau lub voj voog. Raws li cov ntawv ceeb toom qhia los ntawm kev tshuaj xyuas kev lag luam, nws qhov kev thov loj hlob yog muaj feem cuam tshuam nrog kev lag luam semiconductor dav dav bandgap. Tsis tas li ntawd muaj qhov sib txawv ntawm lub neej ntev dua thiab txo qis lub sijhawm ua haujlwm. Cov chaw tsim khoom xav tau cov cuab yeej uas tuaj yeem khiav ntev dua yam tsis muaj kev hloov pauv tas li. Cov thev naus laus zis tshiab tau siv yog li cov susceptors tuaj yeem tiv taus ntau lub sijhawm nrog cov txheej txheem hnav thiab tsim kua muag yog li cov txheej txheem du tuaj yeem lav. Nws kuj txhais tau tias tsawg dua lub sijhawm nres rau kev ntxuav thiab hloov ib feem hauv qhov chaw ua haujlwm tiag tiag uas ua rau cov chaw tsim khoom tswj tau tus nqi ntau lawm. Thiab muaj kev hloov pauv ntawm kev thov los ntawm kev ua haujlwm tsis siv neeg thiab kev saib xyuas cov txheej txheem ib yam nkaus. Kub thiab hnav tuaj yeem saib xyuas lub sijhawm tiag tiag hauv cov fab niaj hnub no. Cov txheej txheem susceptor sib xws yuav lav tias daim ntawv qhia zaub mov ruaj khov yam tsis muaj kev hloov kho tes, nws haum zoo rau qhov sib txawv ntawm cov kab ntau lawm ntse. Qhov sib txawv feem ntau yuav raug pom los ntawm cov engineers thaum scaling. Cov txheej txheem uas tuaj yeem ruaj khov hauv cov khoom me me tej zaum yuav tsis ruaj khov thaum nws nce mus txog qhov loj me ntawm cov khoom. Qhov deb ntawd tuaj yeem nqaim nrog kev txhim kho TaC coated rotation tsim thiab uas muab cov nplai du.