Yuav ua li cas TaC Coated Deflector Rings txhawb nqa cov txheej txheem ruaj khov hauv cov chav kub siab

Qhov ruaj khov ntawm tag nrho cov txheej txheem tuaj yeem cuam tshuam loj heev los ntawm qhov ruaj khov ntawm cov khoom me me, xws li hauv lub chamber semiconductor kub siab. Ib qho ntawm cov khoom no yog lub nplhaib deflector. Nws nyob hauv lub chamber thiab pab tswj cov roj ntws thiab / lossis cua sov. Yog tias qhov kub siab heev, cov ntaub ntawv ib txwm yuav hnav lossis cov khoom me me yuav raug tso tawm cuam tshuam rau qhov zoo ntawm wafer. Tac txheej Cov nplhaib deflector siv los daws cov teeb meem nyuaj no. Lub txheej txheej no pab txhawb rau kev ruaj khov ntawm lub nplhaib thaum lub sijhawm ntev, uas txhais tau tias sab hauv ntawm lub chamber ruaj khov dua thiab kwv yees tau rau kev loj hlob ntawm cov siv lead ua thiab cov txheej txheem zaj duab xis nyias.

Lub Luag Haujlwm ntawm Deflector Rings hauv Gas Flow thiab Thermal Management

Cov pa roj tsis tau faib sib npaug; tsuas yog thaum kub siab xwb. Nws txav mus rau hauv cov qauv, uas txiav txim siab qhov kev nthuav dav ntawm cua sov thiab kev tsim cov khoom siv ntawm wafers. Deflector rings pab hauv thaj chaw no. Lawv tau muab tso rau ntawm qhov chaw tseem ceeb hauv lub chamber los coj cov pa roj. Lub nplhaib yog tsim los coj cov pa roj kub kom ntws hla lub wafer nto du thiab sib npaug dua li yog tias nws dawb swirling nyob ib puag ncig hauv txoj kev tsis raws cai. Qhov sib txawv ntawm qhov kub me me hauv lub chamber thaum cov pa roj ntws ruaj khov. Qhov no tseem ceeb vim tias qhov chaw kub me me tuaj yeem cuam tshuam rau txoj kev uas cov txheej siv lead ua loj hlob. Hauv cov kab ntau lawm tiag tiag, cov engineers pom tias cov pa roj tsis ruaj khov thiab lub wafer tuab tsis sib xws lossis cov qhov tsis zoo ntawm ntug tshwm sim. Cov teeb meem ntawd tuaj yeem txo qis los ntawm kev siv lub nplhaib deflector kom tswj tau qhov kev taw qhia zoo dua txij thaum pib mus txog thaum kawg ntawm lub voj voog txheej txheem. Lwm lub luag haujlwm tseem ceeb yog kev tswj cua sov. Hauv cov chamber no, cov cua sov tuaj yeem siab heev thiab sib sau ua ke hauv ntau thaj chaw. Lub nplhaib no pab faib cov cua sov ntawd ib puag ncig thaum cov pa roj kub ncig los ntawm nws. Cov cua sov sib npaug ntau dua tiv thaiv kev ntxhov siab tsis sib xws ntawm wafer hauv lub chamber. Qhov no pab rov ua dua los ntawm ib pawg mus rau ib pawg. Thaum cov pab pawg siv qhov no hauv daim ntawv thov tiag tiag xws li SiC lossis GaN tsim khoom, lawv pom tias tom qab ua cov nplhaib deflector ruaj khov, lawv siv sijhawm tsawg dua los kho cov zaub mov txawv rau txhua qhov kev khiav. Cov txheej txheem no yooj yim dua los tsim dua vim yog qhov xwm txheej ntawm qhov chaw sab hauv. Nov yog TaC txheej los pab: Nws ruaj khov ntawm qhov kub siab thiab txo cov tshuaj tiv thaiv ntawm qhov chaw uas yuav cuam tshuam cov roj ntws. Lub nplhaib deflector zoo tsim tsis ua haujlwm ua ib chav sawv ntsug, tab sis nws pab tag nrho lub kaw lus kom ua haujlwm ntsiag to dua nrog kev tswj roj thiab cua sov zoo dua thoob plaws txhua lub voj voog.

Cov txiaj ntsig ntawm TaC Coatings rau kev tiv thaiv kev yaig thiab kev xeb

Hauv cov chav kub siab, cov khoom sib xyaw raug rau cov xwm txheej sim hnyav ntawm txhua lub voj voog. Cov pa roj kub txav mus sai thiab ua rau cov nplaim thiab maj mam noj cov khoom siv. Qhov ntawd yog qhov uas TaC (tantalum carbide) txheej pab tau tiag tiag, tshwj xeeb tshaj yog hais txog kev yaig thiab xeb. Kev yaig tshwm sim thaum ib feem raug tshem tawm maj mam los ntawm kev ua ntawm cov pa roj lossis cov khoom me me uas txav mus sai. Txawm tias qhov cuam tshuam me me dhau sijhawm tuaj yeem ua rau qhov chaw ntxhib, hloov nws cov duab thiab hloov pauv kev ua haujlwm. Qhov chaw ntawm a TaC coated graphite rhaub khoom no nyuaj heev thiab ruaj khov piv rau ntau cov ntaub ntawv siv hauv cov khoom siv hauv chav. Qhov no tso cai rau nws khaws nws cov duab ntev dua hauv qab cov pa roj ntws siab thiab ruaj khov. Qhov no pab txo qhov kev hloov pauv ntau zaus, yog li zam kev tsim khoom ntev. Kev xeb kuj yog ib qho teeb meem. Hauv ntau cov txheej txheem semiconductor, cov pa roj uas tau nkag mus rau hauv chav ua haujlwm yog cov tshuaj lom neeg ua haujlwm. Cov pa roj no muaj zog dua ntawm qhov kub siab. Lawv tuaj yeem cuam tshuam nrog cov chaw raug nthuav tawm ua rau poob cov khoom siv lossis kev ua qias tuaj. TaC txheej ua haujlwm ua ib txheej tiv thaiv uas tiv thaiv cov tshuaj tiv thaiv no. Nws tsis yooj yim puas tsuaj txawm tias nyob rau hauv cov xwm txheej tshuaj lom neeg hnyav rau lub sijhawm ntev. Cov pa roj reactive ntawm cov qib kub siab heev yog qhov tshwm sim hauv SiC crystal growth equipment, piv txwv li. Yog tias tsis muaj kev tiv thaiv txaus, cov khoom ntawm chav tuaj yeem lwj sai thiab tso tawm cov khoom tsis xav tau rau hauv lub cev. Cov txheej txheem no tuaj yeem qeeb los ntawm kev siv a Cov khoom siv ib nrab hli uas tau coated nrog TaC , uas yuav pab kom lub chamber huv si thiab ruaj khov hauv kev khiav rov qab. Ib qho txiaj ntsig zoo yog tias qhov du ntawm qhov chaw yuav tshwm sim dhau sijhawm. Nrog rau kev txo qis ntawm kev yaig, qhov chaw tseem nyob ntau dua. Qhov no pab kom paub tseeb tias cov roj ntws sib npaug thiab txo qhov kev pheej hmoo ntawm kev hloov pauv. Ntau tus neeg ua haujlwm tshaj tawm tias kev saib xyuas tam sim no dhau los ua qhov tsis tu ncua, kwv yees tau thiab tsawg dua tom qab siv cov khoom siv TaC coated. Hauv kev xaus, TaC txheej tuaj yeem ua si zoo tiv thaiv. Nws yog siv los xyuas kom meej tias lub chamber ruaj khov nyob rau hauv cov xwm txheej ua haujlwm hnyav los ntawm kev ua kom ntseeg tau tias kev tiv thaiv ntawm cov khoom tseem ceeb los ntawm kev hnav lub cev thiab kev tawm tsam tshuaj lom neeg.

Kev Cuam Tshuam rau Kev Huv Huv Chav thiab Kev Tswj Xyuas Cov Khoom Me Me

Kev huv tsis yog txhais tau tias tsuas yog ntxuav cov chaw hauv cov chav ua haujlwm kub siab xwb. Nws yog kev tswj hwm qhov uas tso tawm hauv lub cev thaum khiav. Cov khoom me me tuaj yeem poob rau ntawm lub wafer thiab ua rau muaj qhov tsis zoo uas nyuaj rau kho. Yog vim li cas cov nplhaib deflector ntawm cov chav ua haujlwm thiaj li tseem ceeb heev, tshwj xeeb tshaj yog tias lawv tau coated nrog TaC. Ib qho txiaj ntsig tseem ceeb ntawm TaC txheej yog tias nws ua rau txo qis kev hnav ntawm qhov chaw. Raws sijhawm, ib qho chaw hnav mus, tso cov khoom me me rau hauv chav ua haujlwm. Cov khoom me me no tuaj yeem nqa los ntawm cov roj ntws thiab tso rau ntawm qhov chaw ntawm wafer. Qhov chaw tseem nyob ruaj khov rau lub sijhawm ntev dua thaum lub nplhaib deflector yog TaC coated thiab raug rau cua sov thiab roj. Qhov no ncaj qha txo qhov kev pheej hmoo ntawm cov khoom me me raug tsim tawm hauv cov voj voog tom ntej. Kev tsim cov tshuaj lom neeg yog qhov teeb meem tshwm sim hauv cov chav ua haujlwm. Raws sijhawm, qee cov ntaub ntawv teb rau cov pa roj txheej txheem, thiab tsim cov khoom tso tawm ntxhib. Cov khoom tso tawm no tuaj yeem sib cais thiab ua haujlwm ua qhov chaw ntawm kev ua qias tuaj. Txawm li cas los xij, TaC txheej tiv thaiv cov tshuaj tiv thaiv no, ua kom qhov chaw huv dua thiab ruaj khov dua. Kev hloov pauv hauv cov voj voog txij nkawm feem ntau ua rau muaj tsawg dua cov khoom tsis tau xav txog uas tus neeg teb xov tooj pom, thaum TaC tiv thaiv cov khoom siv. Ntxiv rau qhov huv si, cov pa roj ntws yog ib qho tseem ceeb. Ib qho chaw du thiab ruaj khov ua rau cov pa roj ntws tau zoo, es tsis txhob ua rau muaj kev co ze ntawm lub nplhaib. Cov khoom me me yuav tsis tshua raug ntes lossis dhia ncig hauv chav yog tias cov pa roj ntws tas li. Qhov no yuav pab tswj kom ib puag ncig dav dav kom tswj tau zoo dua thaum lub sijhawm tsim khoom ntev.

Cov Ntaub Ntawv Siv Hauv Cov Txheej Txheem Epitaxy thiab Deposition Advanced

Feem ntau cov epitaxy thiab deposition systems muaj kev tswj hwm siab ntawm lub deposition chamber kom tso cov txheej nyias nyias ntawm cov khoom siv rau ntawm wafers. Cov txheej no yuav tsum sib xws heev, thiab yuav luag sib xws los ntawm qhov chaw mus rau ntug. Cov kab ke no feem ntau nruab nrog TaC coated deflector rings kom paub tseeb tias lub kaw lus ruaj khov thaum lub sijhawm ntev thiab xav tau. Piv txwv li, hauv SiC epitaxy ntau lawm, cov txheej txheem yog ua tiav ntawm qhov kub siab heev nyob rau hauv cov roj ntws tas mus li ntawm cov reactants. Yog tsis muaj kev tswj hwm kev ntws ruaj khov, cov txheej txheem loj hlob yuav tsis sib xws thiab ua rau muaj kev hloov pauv tuab thoob plaws hauv wafer. Cov roj tau kis thoob plaws ntawm qhov chaw wafer zoo dua los ntawm kev siv TaC coated deflector ring. Qhov no ua rau muaj kev loj hlob du thiab tsawg dua ntug uas yuav ua rau muaj teeb meem kev ua haujlwm ntawm lub cuab yeej tom qab loj hlob. Tib lub tswv yim tuaj yeem siv rau GaN deposition systems rau LEDs thiab fais fab electronics. Cov txheej txheem yog rhiab heev rau qhov sib txawv ntawm qhov kub thiab roj ntws. Qhov tsis ruaj khov me ntsis tuaj yeem ua rau muaj qhov sib txawv ntawm cov khoom siv crystal zoo. Kev txheej nrog TaC txhim kho kev tiv thaiv rau cua sov thiab tshuaj lom neeg tawm tsam, ua rau muaj kev kwv yees tus cwj pwm ntawm lub chamber tom qab ntau lub voj voog. Qhov xav tau kev kho dua tshiab ntawm lub chamber ntau zaus raug txo qis hauv qee cov kab ntau lawm thaum hloov mus rau TaC coated deflector rings. Qhov no yog vim tias cov nplaim sab hauv thiab cov duab tseem tsis hloov pauv rau lub sijhawm ntev dua. Yog tias qhov geometry ntawm lub chamber tseem zoo li qub, cov txheej txheem cov zaub mov tuaj yeem hloov kho tsuas yog qee zaum xwb. Lwm daim ntawv thov muaj txiaj ntsig yog cov txheej txheem ua haujlwm ntau qhov twg cov wafers raug ua tiav hauv ib pawg. Cov kab ke no xav tau kev faib tawm ntawm cov cua sov thiab cov pa roj ntau dua li thaj chaw loj dua. TaC coated deflector rings pab txo qhov kev kub ntxhov hauv zos thiab cov chaw kub kom yooj yim dua los ua kom tiav qhov sib xws ntawm txhua lub wafers hauv pawg. Hauv lub Hoobkas tiag tiag, qhov kev ruaj khov no yuav tshwm sim hauv daim ntawv ntawm cov lej txo qis ntawm cov wafers tsis lees txais thiab cov txiaj ntsig zoo sib xws dhau sijhawm. Nws kuj pab txo qis lub sijhawm downtime vim tias cov khoom tseem siv tau ntev dua ua ntej yuav tsum tau hloov lossis ntxuav. Rau txhua tus, TaC coated deflector rings yog cov khoom tseem ceeb uas tuaj yeem tswj hwm epitaxy thiab deposition systems kom ntseeg tau tias muaj kev ruaj khov thiab raug, tshwj xeeb tshaj yog rau kev tsim khoom semiconductor theem siab.