Kev daws teeb meem TaC Coating Peeling ntawm Rings Siv hauv LPE Epitaxy Systems

Ntau lub tshuab tsim cov khoom siv LPE siv cov nplhaib uas muaj TaC coated. Cov txheej no pab tswj kom muaj ib puag ncig ruaj khov thiab huv si hauv lub tshuab. Thaum cov txheej hnav, Cvd sic txheej lossis cov chips tawm, cov khoom me me tuaj yeem nkag mus rau hauv lub tshuab, ua rau cov wafers paug thiab txo qhov zoo ntawm cov khoom tiav.

Kev txheej txheem TaC thiab Cvd ib Kev puas tsuaj tsis tshwm sim tam sim ntawd tab sis tshwm sim ntau zaus xws li cua sov, cua txias, thiab kev ntxuav. Hauv kev saib xyuas ib txwm, cov neeg ua haujlwm yuav pom tias qee qhov chaw tsis du, muaj qhov tawg me me, lossis cov khoom tawg tawm ntawm ntug. Kev paub txog cov laj thawj tom qab qhov kev puas tsuaj no tuaj yeem ua rau lub neej ntawm cov khoom siv tshuab ntev dua.

Cov hauv paus ua rau ntug tawg hauv CVD TaC Coated Graphite Rings

Feem ntau cov kab nrib pleb ntawm ntug pib ua cov qhov me me uas tshwm sim raws sijhawm, tom qab ntawd cov txheej txheej pib tev tawm.

Kev ntxhov siab thermal yog ib qho ntawm cov laj thawj tseem ceeb. CVD TSI thiab graphite nthuav dav thiab cog lus ntawm ntau qhov sib txawv thaum lawv raug cua sov thiab txias, ua rau muaj kev sib txhuam ntawm ob yam khoom txhua zaus lawv cua sov lossis txias. Cov khoom tsis muaj zog tshaj plaws ntawm cov txheej feem ntau nyob ntawm ntug, yog li qhov no yog qhov uas feem ntau pib tawg.

Kev ua kom sov thiab txias sai ua rau muaj teeb meem kev ntxhov siab ntawm lub zog cua sov. Cov tshuab uas ua ntau qhov kev khiav nrog lub sijhawm txias tsis txaus siv ntau qhov kev ntxhov siab rau ntawm cov nplhaib uas tau coated, thiab cov kab nrib pleb me me ntawm ntug tshwm sim thiab tom qab ntawd loj dua tom qab txhua qhov kev khiav.

Kev ntxuav kuj tseem tuaj yeem ua rau lub txheej puas sai. Kev ntxuav hnyav nrog cov tshuaj lom neeg hnyav, lossis kev ntxuav plasma yuav ua rau qhov sib txuas ntawm TaC txheej thiab graphite substrate puas tsuaj, thaum kawg ua rau cov npoo tsis muaj zog thiab ua rau muaj qhov tawg.

Kev siv tsis zoo yog ib qho ua rau muaj kev puas tsuaj. Kev cuam tshuam me me thaum lub sijhawm thauj lossis teeb tsa cov nplhaib tuaj yeem ua rau muaj cov qhov me me tsis muaj zog ntawm ntug uas tsis pom, uas tuaj yeem ua rau tawg thaum lub sijhawm cua sov / txias.

Qhov zoo ntawm cov graphite substrate kuj ua rau tawg. Cov qhov me me hauv graphite, lossis qhov ceev tsis sib xws yuav cuam tshuam rau txoj kev uas cov txheej nplaum, thiab tsim cov ntsiab lus ntxhov siab, uas yuav ua rau cov txheej tawg.

Feem ntau, kev sib xyaw ua ke ntawm ntau dua ib qho ntawm cov saum toj no yuav tshwm sim.

Kev nthuav dav thermal tsis sib xws hauv LPE (ASM) Epitaxial Parts

Lwm qhov ua rau lub txheej tsis ua haujlwm yog hu ua thermal expansion mismatch. Qhov no yog ib lub tswv yim yooj yim heev thiab qhov ntawd yog TaC txheej thiab graphite muaj cov nqi sib txawv uas lawv nthuav dav thiab cog lus thaum qhov kub hloov pauv.

Thaum qhov kub nce ntxiv, cov graphite nthuav dav ntau dua li TaC txheej tso cai rau. Yog li ntawd muaj kev ntxhov siab hauv cov khoom siv vim tias cov txheej yuav tsis ntev los ua kom haum rau qhov loj ntxiv no thiab tom qab ntawd thaum qhov kub txo qis cov graphite cog lus ntau dua li cov txheej yuav. Qhov no ua rau muaj kev ntxhov siab hauv cov khoom siv.

Tom qab ntau pua lub voj voog thermal thiab High purity CVD SiC raw khoom qhov kev ntxhov siab uas tau tsim los ntawm ob yam khoom siv ua rau cov khoom sib txuas uas tuav cov txheej thiab cov khoom siv ua ke tawg thiab cov txheej pib tawg, tawg, lossis tawg. Cov ces kaum ntse thiab cov npoo feem ntau muaj kev ntxhov siab loj tshaj plaws thiab ua tsis tiav thaum ntxov.

Piv txwv li, pab pawg tsim khoom muaj cov nplhaib uas tau pleev xim uas tawg ib nrab ntawm lawv lub neej ib txwm muaj; thaum kuaj xyuas cov txheej txheem lawv pom tias lawv tau txias cov nplhaib sai sai. Los ntawm kev hloov pauv cov txheej txheem txias lawv lub neej tau nce ntxiv ntau.

Qhov tuab thiab cov duab ntawm cov txheej kuj ua lub luag haujlwm tseem ceeb hauv cov nqe lus ntawm kev ntxhov siab uas tau tsim hauv cov khoom siv; tuab thiab qhov tsim tsis sib xws ua rau muaj kev ntxhov siab ntxiv.

Vim yog qhov no, yuav tsum muaj lub voj voog ua kom sov thiab txias dua thiab muaj txheej zoo kom ntseeg tau tias cov khoom ntawd tsis ua haujlwm.

Yuav ua li cas Cov Txheej Thickness cuam tshuam rau TaC Coating Peeling Risk

Qhov tuab ntawm TaC txheej muaj feem cuam tshuam loj rau lub neej ntawm ib feem. Cov txheej nyias nyias tsis txaus los tiv thaiv cov graphite los ntawm cua sov thiab tshuaj lom neeg. Dhau sijhawm, cov qhov thiab qhov tsis zoo tshwm sim kom txog thaum cov txheej tev tawm ntawm cov khoom siv. Cov txheej tuab muaj cov kev ntxhov siab khaws cia ntau.

Kev ua kom sov thiab txias ntau zaus yuav ua rau cov txheej txheej ntawm lub substrate tawg, feem ntau nyob ze ntawm cov ces kaum thiab ntug. Txawm li cas los xij, qhov sib txawv ntawm qhov tuab yog qhov tseem ceeb ib yam li qhov tuab nruab nrab.

Ib txheej txheej uas sib npaug zos nrog qhov tuab me ntsis siab dua li qhov xav tau zoo dua li ib txheej txheej tsis sib npaug uas tshwm sim ze rau qhov tuab nruab nrab ntawm lub hom phiaj, vim tias kev ntxhov siab tsis faib sib npaug zos.

Feem ntau cov txheej txheem zoo tshaj plaws yuav yog cov uas nplaum zoo thiab tuab nruab nrab tab sis sib txawv me ntsis.

Cov Tswv Yim Kho Rau Cov Cheebtsam Epitaxy Uas Raug Mob CVD TaC

Cov khoom puas lawm tsis tas yuav tsum tau hloov tam sim ntawd. Nyob ntawm seb puas muaj kev puas tsuaj ntau npaum li cas, tej zaum yuav tsis tas yuav hloov cov graphite lossis cov txheej txheej.

Yog tias cov graphite tsis puas tsuaj loj heev ces cov txheej qub yuav raug tshem tawm ntawm qhov, cov txheej TaC tshiab tuaj yeem tso rau hauv (rov txheej dua).

Cov chaw puas tsuaj tsuas yog kho tau yog tias qhov puas tsuaj nyob rau hauv ib cheeb tsam xwb. Qhov no txhais tau tias cov txheej txheem hauv cov chaw no tsuas yog yuav raug tshem tawm thiab rov tso dua. Qhov no yuav ua rau lub neej ntawm qhov khoom ntev dua txawm hais tias feem ntau txoj kev no tsuas yog ib qho kev daws teeb meem nruab nrab xwb.

Cov khoom siv ntxiv tuaj yeem tso rau ntawm qhov chaw uas muaj kev hnav ntau (piv txwv li Ntug) vim tias cov ntsiab lus no ntawm qhov khoom feem ntau yuav puas tsuaj. Qhov no tso cai rau cov npoo ntawm qhov khoom kom txhawb nqa yam tsis muaj kev pleev xim ntau dhau rau tag nrho qhov khoom.

Txawm li cas los xij, txoj kev no tsis yog ib txwm tsim nyog. Feem ntau nws yog qhov zoo dua los hloov cov graphite uas puas tsuaj loj heev nrog cov khoom tshiab yog tias cov graphite puas tsuaj loj heev, lossis yog tias muaj ntau txheej txheej ntawm qhov khoom thiab yog li ntawd tau kho ntau zaus ua ntej lossis muaj cov slag paug. Cov kws ua haujlwm yuav tsum xav txog ob qho tib si qhov pom ntawm qhov puas tsuaj nrog rau kev tshuaj xyuas seb qhov khoom tau siv yav dhau los li cas.

Txo Cov Khoom Me Me Los Ntawm Cov Nto Uas Delaminated TaC Coating

Thaum cov txheej TaC delaminate, es tsis txhob tsim cov flakes loj, cov khoom me me feem ntau raug tso tawm. Cov khoom me me no muaj kev ywj pheej mus ncig lub chamber thiab tuaj yeem nyob rau ntawm cov wafers ua rau muaj qhov tsis zoo.

Ib txoj kev zoo rau kev tiv thaiv kev ua qias tuaj yog nrhiav kev puas tsuaj ntawm cov txheej txheej sai li sai tau. Thaum lub sijhawm kuaj xyuas niaj hnub, cov neeg ua haujlwm yuav tsum nrhiav cov qhov tsis zoo, cov kab nrib pleb me me, lossis cov cheeb tsam me me ntawm cov txheej txheej.

Los ntawm kev hloov qhov khoom thaum lub sijhawm pib tawg, kev tsim cov khoom me me tuaj yeem zam tau.

Qhov kev hloov pauv thermal qeeb qeeb ua rau muaj kev ntxhov siab thoob plaws koj cov txheej sib txuas thiab tiv thaiv kom tsis txhob muaj kev sib txuas thiab cov txheej txheem los ntawm kev tawg. Hauv koj qhov chaw ntxuav koj yuav tsum sim hloov koj cov txheej txheem ntxuav thaum koj cov khoom laus, vim tias cov tshuaj lom neeg thiab plasma tau pom tias ua rau cov khoom siv nto puas tsuaj ua rau thaj chaw ntxhib uas cov khoom me me tuaj yeem tawg tau yooj yim, yog li sim tsis txhob khiav txhua qhov chaw nrog kev teeb tsa ntxuav hnyav.

Thaum lub sijhawm siv koj yuav tsum tau kov cov khoom me me vim tias ib qho kov me me los ntawm qhov chaw tawv thaum lub nplhaib tab tom thauj mus los, lossis raug nias, yuav ua rau cov chips tawg ntawm ntug thiab tso cov hmoov av tseg. Koj yuav tsum tuav nrog kev txhawb nqa thiab tsis txhob kov cov ntug txhua tus nqi.

Muaj ib txhia pab pawg neeg kuj siv cov tshuaj pleev xim me me tom qab pleev xim kom cov txheej sab nraud muaj zog. Qhov no tsis hloov cov txheej tseem ceeb, tab sis nws tuaj yeem pab kaw cov qhov me me uas yuav dhau los ua cov khoom me me thaum lub sijhawm ua haujlwm.

Thaum kawg, kev txo cov khoom me me tsis yog hais txog ib qho kev kho loj xwb tab sis yog hais txog kev tswj hwm ruaj khov. Cov qauv kub ruaj khov, kev ntxuav kom zoo, thiab kev hloov pauv thaum ntxov ntawm cov txheej tsis muaj zog txhua yam ua haujlwm ua ke. Thaum pib delamination, lub hom phiaj tsis yog tsuas yog tiv thaiv nws xwb, tab sis kuj tiv thaiv cov khoom me me ntawd kom tsis txhob nkag mus rau hauv qhov chaw ua haujlwm uas lawv tuaj yeem cuam tshuam rau txhua qhov kev khiav wafer.